[實用新型]高穩定性ITO玻璃刻蝕系統

有效

• 申請號: 201420846640.X
• 申請日: 2014-12-26
• 公開（公告）號: CN204281588U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 施利君;徐鴿
• 申請（專利權）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 項麗

1.?一種高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，它包括相連接的刻蝕組件（1）和水洗組件（2），其特征在于：所述刻蝕組件（1）和所述水洗組件（2）安裝有多個分離式傳動組件（4），所述分離式傳動組件（4）包括安裝在所述刻蝕組件（1）或所述水洗組件（2）外的第一磁力輪（421）、安裝在所述刻蝕組件（1）或所述水洗組件（2）內且與所述第一磁力輪（421）相對應的第二磁力輪（422）、端部與所述第二磁力輪（422）相連接的滾軸（43）以及安裝在所述滾軸（43）上且間隔設置的滾輪（44）以及用于帶動所述第一磁力輪（421）轉動的傳動機構（41）。

2.根據權利要求1所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特征在于：所述水洗組件（2）設置于所述刻蝕組件（1）的下方，所述刻蝕組件（1）通過安裝在其端部的升降組件（3）與所述水洗組件（2）相連接。

3.根據權利要求1或2所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特征在于：所述刻蝕組件（1）和所述水洗組件（2）內安裝有設置在所述分離式傳動組件（4）上方且與其相配合的多個間隙自適應壓片滾輪（5），所述間隙自適應壓片滾輪（5）包括：

滾輪外套（51），所述滾輪外套（51）內圈設置有間隔的多個凸起（511）；

卡套（52），所述卡套（52）設置有與所述凸起（511）相配合的多個卡齒（521），它通過所述卡齒（521）卡合于所述滾輪外套（51）的一側；

支撐件（54），所述支撐件（54）包括設置于所述滾輪外套（51）另一側的第一柱體（541）以及與所述第一柱體（541）側面相連接且插入所述滾輪外套（51）和所述卡套（52）的第二柱體（543），所述第一柱體（541）的直徑大于所述凸起（511）內端形成的圓形直徑；

彈性件（53），所述彈性件（53）放置在被所述支撐件（54）和所述卡套（52）圍住的所述凸起（511）之間，所述彈性件（53）向所述滾輪外套（51）中心軸的方向延伸。

4.根據權利要求1或2所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特征在于：所述刻蝕組件（1）包括依次相連接的預處理單元（11）、刻蝕單元（12）和水洗單元（13），所述預處理單元（11）包括分別安裝于其兩端部的第一離子泵（113）、安裝在所述第一離子泵（113）之間的紫外燈（111）以及用于向其內導入氧氣的氧氣閥（112），所述刻蝕單元（12）包括設置于其內部用于對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第一噴淋管（121）、設置于其內部并位于所述第一噴淋管（121）上游的第一液刀（122）以及設置于其內部并位于所述第一噴淋管（121）下游的一組第一風刀（123）以及用于收集刻蝕液并將再導入所述第一噴淋管（121）和所述第一液刀（122）中的循環機構（124），所述水洗單元（13）包括設置于其內部用于對ITO玻璃進行上下噴淋的多個第二噴淋管（131）、設置于其內部并位于所述第二噴淋管（131）上游的第二液刀（132）以及設置于其內部并位于所述第二噴淋管（131）下游的第一超級液刀（133）。

5.根據權利要求4所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特征在于：所述第一液刀（122）和所述第二液刀（132）的結構相同，它們均包括相對應合蓋的兩塊液刀板（134）、形成于兩塊所述液刀板（134）之間的第一腔體（135）、形成于兩塊所述液刀板（134）下端部的出液條縫（138），兩塊所述液刀板（134）之間還形成有與所述第一腔體（135）相連通的第二腔體（137），所述第二腔體（137）與所述出液條縫（138）相連通，所述第二腔體（137）的截面為圓形或者橢圓形。

6.根據權利要求4所述高穩定性ITO玻璃刻蝕系統，其特征在于：所述刻蝕組件（1）還包括連接于所述預處理單元（11）和所述刻蝕單元（12）之間的第一緩沖單元（14）以及連接于所述刻蝕單元（12）和所述水洗單元（13）之間的第二緩沖單元（15），所述第一緩沖單元（14）的兩端分別安裝有一組第二風刀（141），所述第二緩沖單元（15）內設有一組第三風刀（151），所述第一緩沖單元（14）在其與所述刻蝕單元（12）的連接處以及所述第二緩沖單元（15）在其與所述刻蝕單元（12）的連接處設有防結晶機構（142）。