[實用新型]芯片分檢裝置有效
| 申請號: | 201420844902.9 | 申請日: | 2014-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN204257605U | 公開(公告)日: | 2015-04-08 |
| 發明(設計)人: | 王鵬;王毅;李運金 | 申請(專利權)人: | 揚州揚杰電子科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人: | 葛軍 |
| 地址: | 225008 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及芯片分向點測領域,尤其涉及芯片分檢裝置。
背景技術
????目前,對于切割后芯片進行點測是一種常規的檢測手段,但由于切割后芯片方向的不可控性(正、負極性),對此,操作人員通過鑷子或測試筆,調整芯片的方向,從而達到統一的效果,然而,操作人員的隨機操作存在對芯片的損傷,操作性差不易作業,從而造成測試過程中材料失效的隱患。
實用新型內容
本實用新型針對以上問題,提供了一種結構簡單,方便操作,提高工作效率的芯片分檢裝置。
????本實用新型的技術方案是:包括基板和底板,所述基板上均布設有若干芯片分向槽,所述芯片分向槽為上大下小的通槽,
?????所述底板的頂面中心設有上大下小的階梯槽,所述基板適配地設在所述底板的階梯槽的大階梯槽內,所述基板的高度小于所述底板的階梯槽的大階梯槽的高度,所述底板的頂面設有芯片導出口,所述芯片導出口位于所述底板的階梯槽的大階梯槽的一側,所述芯片導出口的底面和所述基板的頂面位于同一平面;
?????所述芯片分向槽連通所述底板的階梯槽的小階梯槽,所述底板的階梯槽的小階梯槽通過氣孔連通負壓源。
所述基板和底板為銅板,所述基板的頂面設有銅導柱。
????本實用新型將基板放置在底板的大階梯槽內,通過氣孔連通負壓源,將芯片倒入基板上的芯片分向槽,水平晃動,將芯片均勻分布于基板表面,傾斜基板,將多余芯片從芯片導出口倒出,將測試線與基板相連,并同測試筆對芯片進行點測,操作性好、使用效果佳。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖,
圖2是圖1的俯視圖,
圖3是本實用新型中基板的結構示意圖;
圖中1是基板,10是芯片分向槽,2是底板,20是階梯槽,200是大階梯槽,3是芯片導出口,4是氣孔,5是銅導柱。
具體實施方式
????本實用新型如圖1-3所示,包括基板1和底板2,所述基板1上均布設有若干芯片分向槽10,所述芯片分向槽10為上大下小的通槽,
?????所述底板2的頂面中心設有上大下小的階梯槽20,所述基板1適配地設在所述底板的階梯槽20的大階梯槽200內,所述基板1的高度小于所述底板的階梯槽的大階梯槽200的高度,所述底板2的頂面設有芯片導出口3,所述芯片導出口3位于所述底板的階梯槽的大階梯槽的一側,所述芯片導出口3的底面和所述基板1的頂面位于同一平面;
?所述芯片分向槽10連通所述底板的階梯槽20的小階梯槽,所述底板2的階梯槽的小階梯槽通過氣孔4連通負壓源。本實用新型可以對芯片進行分向,并將芯片等間距分布,便于點測。
所述基板1和底板2為銅板,所述基板1的頂面設有銅導柱5。基板、底板均為銅材質,便于實現導電測試,基板可通過測試夾與測試機相連,并實現測試功能。設置銅導柱,一方便,便于拿取基板,另一方便,便于通過銅導柱連接測試機,方便操作。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





