[實(shí)用新型]一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420837159.4 | 申請(qǐng)日： | 2014-12-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN204332931U | 公開（公告）日： | 2015-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉思佳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州凱锝微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/687 | 分類號(hào)： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶圓可 旋轉(zhuǎn) 夾持 裝置 | ||
1.一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，包括長(zhǎng)軸，所述長(zhǎng)軸外部設(shè)置有軸套，所述長(zhǎng)軸的上端開有吊掛孔，所述長(zhǎng)軸的下端設(shè)置有下支撐，所述下支撐上通過(guò)銷軸活動(dòng)設(shè)置有多個(gè)卡爪，所述卡爪的上端通過(guò)銷軸與斜拉桿的下端活動(dòng)連接，所述斜拉桿的上端通過(guò)銷軸與所述軸套活動(dòng)連接，所述卡爪的下端設(shè)置有水平夾持臂，所述水平夾持臂與旋轉(zhuǎn)夾持臂配合連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述下支撐與所述長(zhǎng)軸之間設(shè)置有鎖緊固定的彈簧墊圈和螺母。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述水平夾持臂上開有凹槽，所述旋轉(zhuǎn)夾持臂靠近水平夾持臂的一側(cè)設(shè)置有與所述凹槽配合的凸棱。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述凹槽為兩個(gè)互相垂直相交的凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述卡爪的個(gè)數(shù)為2個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述卡爪上設(shè)置有加強(qiáng)支撐桿。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
