[實用新型]一種貼合系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420835937.6
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN204289407U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金虎;孫洪波;武文鑫;徐振飛;龔健;顧永強
• 申請（專利權(quán)）人: 常州二維碳素科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 徐琳淞

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種貼合系統(tǒng)。

背景技術(shù)

石墨烯是由單層碳原子構(gòu)成的六方蜂窩狀二維晶體。由于石墨烯具有優(yōu)異的電學、力學、熱學和光學特性，因此其在很多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，例如用于制造透明電極、以及更薄、開關(guān)速度更快的電子元件等。

為了制備石墨烯電子器件，首要的問題是制備出大尺寸、具有優(yōu)異電學性能的石墨烯薄膜，并轉(zhuǎn)移至合適的目標基底上。目前，更加適用于工業(yè)化生產(chǎn)的制備石墨烯薄膜的方法是化學氣相沉積(CVD)，此方法是在高溫條件下在金屬襯底(如銅、鎳或銅鎳合金)的表面沉積碳原子得到具有二維結(jié)構(gòu)的石墨烯薄膜材料。非常薄(＜100um)的金屬襯底在高溫退火后變得非常柔軟，尤其是尺寸比較大的金屬襯底在外力作用下更容易變皺，然而在轉(zhuǎn)移石墨烯的過程中，避免不了對金屬襯底進行移動、翻轉(zhuǎn)，這很容易對石墨烯薄膜造成損傷。用厚的金屬襯底生長石墨烯固然增加成本，因此怎樣無損的轉(zhuǎn)移大面積的石墨烯薄膜是迫切需要解決的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種可以將尺寸非常大、柔軟易褶皺的襯底上的薄膜與基底貼合在一起的貼合系統(tǒng)。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是：一種貼合系統(tǒng)，包括涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)、吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、滾壓貼合機構(gòu)和位移驅(qū)動機構(gòu)；所述涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)設(shè)置在吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)和滾壓貼合機構(gòu)的上方；所述位移驅(qū)動機構(gòu)與吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)和/或滾壓貼合機構(gòu)連接，并使吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與滾壓貼合機構(gòu)之間的上下位置關(guān)系能夠互換；所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)位于滾壓貼合機構(gòu)的上方時，涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)對吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)上的薄膜或者基底涂覆粘結(jié)劑；所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)位于滾壓貼合機構(gòu)的下方時，涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)對滾壓貼合機構(gòu)上的基底或者薄膜涂覆粘結(jié)劑。

所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括外框支架、吸附板、真空吸附裝置和翻轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；所述外框支架內(nèi)轉(zhuǎn)動設(shè)置至少一個吸附板；所述吸附板上均勻設(shè)有多個吸附孔，所有吸附孔的內(nèi)部均連通至真空吸附裝置；所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動吸附板翻轉(zhuǎn)；所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)位于滾壓貼合機構(gòu)的上方時，涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)對吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的吸附板上的薄膜或者基底涂覆粘結(jié)劑。

所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的吸附板上設(shè)有滾軸，滾軸與外框支架轉(zhuǎn)動連接的同時還與翻轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置聯(lián)接。

所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的吸附板的上下端面均設(shè)有吸附孔或者只有其中一面設(shè)有吸附孔。

所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的吸附板上的有吸附孔的孔徑為0.001mm～3mm。

所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的真空吸附裝置采用真空泵或者真空發(fā)生器或磁力真空吸附發(fā)生器。

所述涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)包括涂覆支架、涂覆頭和驅(qū)動裝置；所述涂覆頭安裝在涂覆支架上，涂覆頭的數(shù)量與吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的吸附板數(shù)量相同或者不相同；所述驅(qū)動裝置驅(qū)動涂覆支架移動。

所述涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)的涂覆頭為針頭結(jié)構(gòu)或者噴頭結(jié)構(gòu)或者毛刷結(jié)構(gòu)或者滾輪結(jié)構(gòu)或者拉桿結(jié)構(gòu)。

所述滾壓貼合機構(gòu)包括滾壓臺面以及設(shè)置在滾壓臺面上的滾輪；所述吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)位于滾壓貼合機構(gòu)的下方時，涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)對滾壓貼合機構(gòu)的滾壓臺面上的基底或者薄膜進行涂覆粘結(jié)劑。

所述滾壓貼合機構(gòu)的滾輪的外表面包裹有軟質(zhì)材料。

采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有以下的有益效果：(1)本實用新型可以將尺寸非常大、很柔軟易褶皺襯底上的薄膜與目標基底貼合在一起，比如將尺寸非常大的生長有石墨烯的金屬襯底(＞7寸)與目標基底貼合在一起，自動化程度更高，對柔軟的金屬襯底造成的褶皺更少，顯著提高了工作效率，非常適合工業(yè)化生產(chǎn)。

(2)本實用新型的吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)可以將面積非常大、襯底柔軟的薄膜無褶皺的翻轉(zhuǎn)過來，避免了薄膜在移動翻轉(zhuǎn)和貼合的過程中出現(xiàn)的缺陷，以至于影響到產(chǎn)品的外觀和性能，大大提高了良率。

(3)本實用新型自動化程度提高，降低了對人工操作的依賴性，一次性轉(zhuǎn)移薄膜的面積更大，大幅度提高了生產(chǎn)效率。

(4)本實用新型的滾壓貼合機構(gòu)的滾輪的外表面包裹有軟質(zhì)材料，這種結(jié)構(gòu)能夠有效保護石墨烯薄膜，防止貼合時的壓力損壞石墨烯薄膜。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型的涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)對吸附翻轉(zhuǎn)機構(gòu)上的薄膜或者基底涂覆粘結(jié)劑時的示意圖。

圖2為圖1的俯視圖。

圖3為本實用新型的涂覆粘結(jié)劑機構(gòu)對滾壓貼合機構(gòu)上的基底或者薄膜涂覆粘結(jié)劑時的示意圖。

附圖中的標號為：