[實(shí)用新型]一種硅片劃片盤的結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420833715.0
• 申請(qǐng)日: 2014-12-25
• 公開（公告）號(hào): CN204289394U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高寶華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州銀河電器有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;B28D5/00
• 代理公司: 常州市天龍專利事務(wù)所有限公司 32105
• 代理人: 夏海初

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型具體涉及一種硅片劃片盤的結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的硅片是利用劃片機(jī)實(shí)施劃片工藝，而劃片機(jī)的劃片盤的一面只有4個(gè)或者是7個(gè)工位，也就是說一片劃片盤一次只能對(duì)4個(gè)或7個(gè)硅片實(shí)施劃片處理，這樣，并未有效利用劃片機(jī)走刀的全部行程，因此，浪費(fèi)了劃片的有效工作時(shí)間，導(dǎo)致劃片效率低，使得生產(chǎn)成本較高。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是：提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且能提高劃片效率的硅片劃片盤的結(jié)構(gòu)，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案：一種硅片劃片盤的結(jié)構(gòu)，包括基板，包括基板，所述基板的一面有多個(gè)工位；而其：

所述基板有可與真空泵管路連接且呈米字形分開布置的第一流道、第二流道、第三流道和第四流道；

所述基板的一面有第一工位、第二工位、第三工位、第四工位、第五工位、第六工位、第七工位、第八工位和第九工位，且基板一面的九個(gè)工位是呈3×3矩陣式排布的；

所述第一工位、第二工位、第三工位、第四工位、第五工位、第六工位、第七工位、第八工位和第九工位各自具有沿徑向呈直線布置的若干個(gè)沉孔，所述第一工位的若干個(gè)沉孔和第五工位的若干個(gè)沉孔分別與第一流道相連通，所述第二工位的若干個(gè)沉孔和第六工位的若干個(gè)沉孔分別與第二流道相連通，所述第三工位的若干個(gè)沉孔和第七工位的若干個(gè)沉孔分別與第三流道相連通，所述第四工位的若干個(gè)沉孔、第八工位的若干個(gè)沉孔分別與第四流道相連通；

所述基板的另一面有與第一流道、第二流道、第三流道和第四流道以及第九工位中心沉孔分別相連通的軸向通孔。

在上述技術(shù)方案中，所述第一工位、第二工位、第三工位、第四工位、第五工位、第六工位、第七工位、第八工位和第九工位分別設(shè)有若干個(gè)沿徑向等間距分開布置的圓環(huán)形凹槽，且所述的沉孔分別設(shè)在相應(yīng)的圓環(huán)形凹槽內(nèi)。

在上述技術(shù)方案中，所述基板的另一面還有若干個(gè)弧形定位凸臺(tái)，且若干個(gè)弧形定位凸臺(tái)位于軸向通孔的外周且沿同一半徑的圓周方向均勻布置。

在上述技術(shù)方案中，所述基板另一面有5個(gè)軸向通孔，且其中1個(gè)軸向通孔與第九工位中心沉孔相連通且該個(gè)軸向通孔位于基板的中心，而剩余四個(gè)軸向通孔位于基板中心的軸向通孔的外周且呈圓周方向分開布置。

在上述技術(shù)方案中，所述基板呈圓形，或者是多邊形。

本實(shí)用新型所具有的積極效果是：由于采用上述劃片盤后，使用時(shí)，每個(gè)劃片盤的九個(gè)工位分別裝有硅片，且劃片機(jī)的真空泵與劃片盤的軸向通孔管路連接，這樣，實(shí)現(xiàn)了四個(gè)流道與真空泵管路連接，使得硅片緊緊被吸附在工位上，并且確保硅片在劃片過程中不會(huì)發(fā)生移位現(xiàn)象，因此，本實(shí)用新型的劃片盤一次可對(duì)九個(gè)硅片同時(shí)實(shí)施劃片處理，充分利用了走刀的有效工作行程，使得生產(chǎn)效率高。實(shí)現(xiàn)了本實(shí)用新型的目的。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種具體實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的后視圖；

圖3是圖1的A-A剖視圖；

圖4是圖3的B-B剖視示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖以及給出的實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明，但并不局限于此。

如圖1、2、3、4所示，一種硅片劃片盤的結(jié)構(gòu)，包括基板1，而其：包括基板1，所述基板1的一面有多個(gè)工位；而其：

所述基板1有可與真空泵管路連接且呈米字形分開布置的第一流道1-1、第二流道1-2、第三流道1-3和第四流道1-4；

所述基板1的一面有第一工位2、第二工位3、第三工位4、第四工位5、第五工位6、第六工位7、第七工位8、第八工位9和第九工位10，且基板1一面的九個(gè)工位是呈3×3矩陣式排布的；

所述第一工位2、第二工位3、第三工位4、第四工位5、第五工位6、第六工位7、第七工位8、第八工位9和第九工位10各自具有沿徑向呈直線布置的若干個(gè)沉孔2-1、3-1、4-1、5-1、6-1、7-1、8-1、9-1、10-1，所述第一工位2的若干個(gè)沉孔2-1和第五工位6的若干個(gè)沉孔6-1分別與第一流道1-1相連通，所述第二工位3的若干個(gè)沉孔3-1和第六工位7的若干個(gè)沉孔7-1分別與第二流道1-2相連通，所述第三工位4的若干個(gè)沉孔4-1和第七工位8的若干個(gè)沉孔8-1分別與第三流道1-3相連通，所述第四工位5的若干個(gè)沉孔5-1、第八工位9的若干個(gè)沉孔9-1分別與第四流道1-4相連通；