[實用新型]一種硅片劃片盤的結構

有效

• 申請號: 201420833715.0
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN204289394U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 高寶華
• 申請（專利權）人: 常州銀河電器有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B28D5/00
• 代理公司: 常州市天龍專利事務所有限公司 32105
• 代理人: 夏海初

1.?一種硅片劃片盤的結構，包括基板（1），所述基板（1）的一面有多個工位；

其特征在于：

所述基板（1）有可與真空泵管路連接且呈米字形分開布置的第一流道（1-1）、第二流道（1-2）、第三流道（1-3）和第四流道（1-4）；

所述基板（1）的一面有第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10），且基板（1）一面的九個工位是呈3×3矩陣式排布的；

所述第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10）各自具有沿徑向呈直線布置的若干個沉孔（2-1、3-1、4-1、5-1、6-1、7-1、8-1、9-1、10-1），所述第一工位（2）的若干個沉孔（2-1）和第五工位（6）的若干個沉孔（6-1）分別與第一流道（1-1）相連通，所述第二工位（3）的若干個沉孔（3-1）和第六工位（7）的若干個沉孔（7-1）分別與第二流道（1-2）相連通，所述第三工位（4）的若干個沉孔（4-1）和第七工位（8）的若干個沉孔（8-1）分別與第三流道（1-3）相連通，所述第四工位（5）的若干個沉孔（5-1）、第八工位（9）的若干個沉孔（9-1）分別與第四流道（1-4）相連通；

所述基板（1）的另一面有與第一流道（1-1）、第二流道（1-2）、第三流道（1-3）和第四流道（1-4）以及第九工位（10）中心沉孔（10-1）分別相連通的軸向通孔（11）。

2.?根據權利要求1所述的硅片劃片盤的結構，其特征在于：所述第一工位（2）、第二工位（3）、第三工位（4）、第四工位（5）、第五工位（6）、第六工位（7）、第七工位（8）、第八工位（9）和第九工位（10）分別設有若干個沿徑向等間距分開布置的圓環形凹槽（2-2、3-2、4-2、5-2、6-2、7-2、8-2、9-2、10-2），且所述的沉孔（2-1、3-1、4-1、5-1、6-1、7-1、8-1、9-1、10-1）分別設在相應的圓環形凹槽（2-2、3-2、4-2、5-2、6-2、7-2、8-2、9-2、10-2）內。

3.?根據權利要求1所述的硅片劃片盤的結構，其特征在于：所述基板（1）的另一面還有若干個弧形定位凸臺（12），且若干個弧形定位凸臺（12）位于軸向通孔（11）的外周且沿同一半徑的圓周方向均勻布置。

4.?根據權利要求1所述的硅片劃片盤的結構，其特征在于：所述基板（1）另一面有5個軸向通孔（11），且其中1個軸向通孔（11）與第九工位（10）中心沉孔（10-1）相連通且該個軸向通孔（11）位于基板（1）的中心，而剩余四個軸向通孔（11）位于基板（1）中心的軸向通孔（11）的外周且呈圓周方向分開布置。

5.?根據權利要求1所述的硅片劃片盤的結構，其特征在于：所述基板（1）呈圓形，或者是多邊形。