[實用新型]一種柱狀旋轉磁控濺射靶

有效

• 申請號: 201420830991.1
• 申請日: 2014-12-24
• 公開（公告）號: CN204342870U
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發明（設計）人: 談琦
• 申請（專利權）人: 四川亞力超膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

技術領域

本實用新型屬于真空鍍膜領域，尤其涉及一種柱狀旋轉磁控濺射靶。

背景技術

磁控濺射是真空鍍膜的重要方法之一，其具有膜層厚度控制精度高，鍍膜均勻性好等優點，同時磁控濺射由于磁場跑道對等離子體的約束作用，使得靶材的刻蝕只局限在跑道以內,降低了靶材利用率.旋轉柱狀靶的應用，大大提高了靶材利用率，但是由于旋轉運動結構的引入，增加了設備的維護工作量，由于靶材旋轉，相對于無運動平面靶結構，增加了傳動軸與真空室引入接口處的動密封，長期運轉由于密封圈的磨損，降低了設備的可靠性。靶材相對于磁鋼固定芯軸的旋轉，需要采用軸承支撐，通常滾珠軸承由于冷卻循環水的浸泡，軸承會出現生銹現象，容易造成軸承卡死。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型的技術方案是：提供一種柱狀旋轉磁控濺射靶，包括柱狀靶材、用于安裝磁鋼組件的磁鋼安裝芯軸；磁鋼安裝芯軸與柱狀靶材采用同心布置；柱狀靶材的一端與傳動軸連接，另外一端安裝有端部軸頭；所述端部軸頭上設置有與柱狀靶材和磁鋼安裝芯軸配合的第一凹槽和第二凹槽；所述磁鋼安裝芯軸一端套接有軸承套；所述軸承套安裝在第二凹槽內；所述磁鋼安裝芯軸套接有過水軸套，且過水軸套支撐起傳動軸。

進一步的，所述的傳動軸的外側套有磁流體密封件，磁流體密封件與真空室壁之間采用靜密封，傳動軸穿過磁流體密封件的中間孔采用靜密封形式，傳動軸與磁流體密封件旋轉時的動密封由磁流進行有效密封。

進一步的，所述磁鋼安裝芯軸為中空管，磁鋼安裝芯軸上靠近端部軸頭一端設有若干孔，冷卻水通過孔，流出磁鋼安裝芯軸對軸承套和端部軸頭之間的相對運動進行潤滑。

進一步的，所述端部軸頭通過第一法蘭安裝在柱狀靶材上，第一法蘭可優選為活套法蘭。

進一步的，所述柱狀靶材通過第二法蘭與傳動軸連接，第二法蘭可優選為活套法蘭。

進一步的，所述過水軸套上開有多個過水孔。

進一步的，所述過水軸套上開代替過水孔的多個過水槽。

進一步的，所述軸承套采用聚四氟乙烯材料制造。

進一步的，所述的過水軸套采用聚四氟乙烯材料制造。

本實用新型的有益效果：1、由于過水軸套和軸承套代替了金屬滾珠軸承，避免了由于軸承生銹而使磁鋼安裝芯軸卡死；2、由于傳動軸與磁流體密封件旋轉時的動密封由磁流進行有效密封，避免了密封圈的磨損。

附圖說明

圖1為本實用新型柱狀旋轉磁控濺射靶結構主視圖；

圖2為本實用新型柱狀旋轉磁控濺射靶截面左視圖。

其中，端部軸頭(1)，第一凹槽(1.1)，第二凹槽(1.2)，第一法蘭(2)，軸承套(3)，柱狀靶材(4)，磁鋼組件(5)，磁鋼安裝芯軸(6)，過水軸套(7)，傳動軸(8)，真空室壁(9)，磁流體密封件(10)，第二法蘭(11)，孔(12)。

具體實施方式

下面結合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的闡述。

如圖1和2所示，一種柱狀旋轉磁控濺射靶，包括柱狀靶材4、用于安裝磁鋼組件5的磁鋼安裝芯軸6；磁鋼安裝芯軸6與柱狀靶材4采用同心布置；柱狀靶材4的一端與傳動軸8連接，另外一端安裝有端部軸頭1；所述端部軸頭1上設置有與柱狀靶材4和磁鋼安裝芯軸6配合的第一凹槽1.1和第二凹槽1.2；所述磁鋼安裝芯軸6一端套接有軸承套3；所述軸承套3安裝在第二凹槽1.2內；所述磁鋼安裝芯軸6套接有過水軸套7，且過水軸套7支撐起傳動軸8。

傳動軸8的外側套有磁流體密封件10，傳動軸8的一端穿過真空室壁9，磁流體密封件10具體位于真空室壁9的外側。磁流體密封件10與真空室壁9之間采用靜密封；傳動軸8穿過磁流體密封件10的中間孔采用靜密封形式，傳動軸8與磁流體密封件10旋轉的動密封由磁流進行有效密封，避免了密封圈的磨損。

磁鋼安裝芯軸6為中空管，磁鋼安裝芯軸6上靠近端部軸頭1一端設有若干孔12，冷卻水通過磁鋼安裝芯軸6進入，孔12流出冷卻水經過整個磁鋼安裝芯軸6的內部對安裝在磁鋼安裝芯軸6上的安裝磁鋼組件5進行冷卻。

端部軸頭1通過第一法蘭2安裝在柱狀靶材4上。所述柱狀靶材4通過第二法蘭11與傳動軸8連接，第一法蘭2和第二法蘭11均為活套法蘭。

過水軸套7上開有多個過水孔或者多個過水槽，冷卻水可以經過過水孔或者過水槽排除出，形成循環冷卻。

軸承套3和過水軸套7均采用聚四氟乙烯材料制造，可以避免金屬侵泡在冷卻水中生銹，影響磁鋼安裝芯軸6轉動。