[實用新型]希爾伯特曲線型片上無源元件地屏蔽結構及片上螺旋電感有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420825779.6 | 申請日： | 2014-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN204538016U | 公開（公告）日： | 2015-08-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 韓波;王詩兵;宋有才;趙正平;史曉鳳;張媛;李軍 | 申請（專利權）人： | 阜陽師范學院 |
| 主分類號： | H01L23/552 | 分類號： | H01L23/552 |
| 代理公司： | 北京科億知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 236037 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 希爾伯特 曲線 型片上 無源 元件 屏蔽 結構 螺旋 電感 | ||
1.一種希爾伯特曲線型片上無源元件地屏蔽結構，所述無源元件包括金屬線和襯底，所述地屏蔽結構設置在所述金屬線和襯底之間，其特征在于，所述希爾伯特曲線型地屏蔽結構由任意金屬層構成，所述希爾伯特曲線的曲線間距為S，線寬為W，n階希爾伯特曲線其面積為(2n×W+(2n-1)×S)2，根據(jù)所述片上無源元件所占面積大小選擇不同數(shù)量不同階數(shù)的希爾伯特曲線來構成所述地屏蔽結構，所述每個希爾伯特曲線的四角通過所述片上無源元件的金屬過孔連接到所述襯底，所述不同階數(shù)的希爾伯特曲線間距為S，構成的面積接近所述片上無源元件占用面積。
2.如權利要求1所述的希爾伯特曲線型片上無源元件地屏蔽結構，其特征在于，所述希爾伯特曲線型地屏蔽結構包括16個四階希爾伯特曲線與17個三階希爾伯特曲線，其中每個四階與三階希爾伯特曲線的四角通過所述片上無源元件的金屬過孔連接到所述襯底。
3.如權利要求2所述的希爾伯特曲線型片上無源元件地屏蔽結構，其特征在于，所述S為2微米，所述W為2-10微米。
4.添加權利要求1所述一種希爾伯特曲線型片上無源元件地屏蔽結構的片上螺旋電感，其特征在于，包括片上電感(1)，金屬線(2)和地屏蔽結構(3)，其中，所述片上電感(1)包括螺旋電感線和金屬過線，所述螺旋電感線由頂層金屬構成，所述金屬過線由次頂層金屬構成，所述地屏蔽結構(3)由第一層金屬構成。
5.如權利要求4所述的片上螺旋電感，其特征在于，所述片上電感(1)外徑為280微米，所述金屬線(2)寬為10微米，所述金屬線(2)間距S為2微米。
6.如權利要求4所述的片上螺旋電感，其特征在于，所述地屏蔽結構(3)由16個四階希爾伯特曲線與17個三階希爾伯特曲線構成，所述希爾伯特曲線內(nèi)徑S與線寬W都選擇為2微米。
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