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[實用新型]柔性襯底有效

專利信息
申請號: 201420824856.6 申請日: 2014-12-22
公開(公告)號: CN204441338U 公開(公告)日: 2015-07-01
發明(設計)人: 薛慕蓉;陳紅;吳偉力 申請(專利權)人: 昆山國顯光電有限公司
主分類號: H01L51/52 分類號: H01L51/52
代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 代理人: 唐清凱
地址: 215300 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 柔性 襯底
【權利要求書】:

1.一種柔性襯底,其特征在于,包括依次層疊的第一聚合物層、第一硅保護層、原子層沉積膜、第二硅保護層及第二聚合物層。

2.根據權利要求1所述的柔性襯底,其特征在于,所述第一聚合物層及第二聚合物層為聚酰亞胺層、聚碳酸酯層、聚對苯二甲酸乙二醇酯層、聚荼二甲酸乙二醇酯層或聚醚砜層。

3.根據權利要求1所述的柔性襯底,其特征在于,所述原子層沉積膜的厚度為0.5~1μm,所述第一聚合物層和第二聚合物層的厚度為5~10μm,所述第一硅保護層和第二硅保護層的厚度為0.5~1μm。

4.根據權利要求1所述的柔性襯底,其特征在于,所述第一硅保護層和第二硅保護層為氮化硅或二氧化硅層。

5.根據權利要求1所述的柔性襯底,其特征在于,所述原子層沉積膜為氧化鋁原子層沉積膜。

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