[實用新型]柔性襯底

有效

• 申請號: 201420824856.6
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN204441338U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 薛慕蓉;陳紅;吳偉力
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

技術領域

本實用新型涉及顯示器制作領域，特別是涉及一種柔性襯底。

背景技術

目前常用的應用于柔性有機電致發光器件的柔性襯底主要為聚合物襯底，例如PC、PI、PET、PES等聚合物，由于聚合物襯底自身的結構決定其水氧滲透率比較大，通常業內常用的方法是在PI襯底上鍍上多層阻隔層來阻擋水氧的浸入。然而多層沉積結構工藝復雜，對顯示器件的光學和機械性能都會存在一定的影響，且無機阻隔層的彈性低，不利于分散機械應力，仍然存在著較大的開裂風險，水氧易滲入。

目前一種解決的技術方案為：在第一聚合物層和第二聚合物層之間加上一層金屬箔片。該方案的缺陷為：在兩層聚合物之間加上一層金屬箔片，存在聚合物和金屬箔片之間的粘結問題以及在切割金屬箔片的過程中產生的表面不平整以及金屬碎片的現象，主要原因在于金屬箔片本身具有的結構和性質所決定的。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種具有良好韌性和防水/氧滲透性能的柔性襯底。

一種柔性襯底，包括依次層疊的第一聚合物層、第一硅保護層、原子層沉積膜、第二硅保護層及第二聚合物層。

在其中一個實施例中，所述第一聚合物層及第二聚合物層為聚酰亞胺層、聚碳酸酯層、聚對苯二甲酸乙二醇酯層、聚荼二甲酸乙二醇酯層或聚醚砜層。

在其中一個實施例中，所述原子層沉積膜的厚度為0.5～1μm，所述第一聚合物層和第二聚合物層的厚度為5～10μm，所述第一硅保護層和第二硅保護層的厚度為0.5～1μm。

在其中一個實施例中，所述第一硅保護層和第二硅保護層為氮化硅或二氧化硅層。

在其中一個實施例中，所述原子層沉積膜為氧化鋁原子層沉積膜。

上述柔性襯底中，在兩層聚合物層之間設置氧化鋁原子層沉積膜，氧化鋁原子層沉積膜具有良好的致密性，因此柔性襯底具備良好的防水/氧滲透性能，因此不需要設置較多的阻隔層，厚度小、韌性好。

附圖說明

圖1為柔性襯底的示意剖面圖；

圖2為柔性襯底的制備方法的流程圖。

具體實施方式

為了便于理解本實用新型，下面將參照相關附圖對本實用新型進行更全面的描述。附圖中給出了本實用新型的較佳的實施例。但是，本實用新型可以以許多不同的形式來實現，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對本實用新型的公開內容的理解更加透徹全面。

需要說明的是，當元件被稱為“固定于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當一個元件被認為是“連接”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。相反，當元件被稱作“直接在”另一元件“上”時，不存在中間元件。本文所使用的術語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本實用新型的技術領域的技術人員通常理解的含義相同。本文中在本實用新型的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。本文所使用的術語“及/或”包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的說明。

請參考圖1，本實用新型提供一種柔性襯底，包括第一聚合物層110、設置在第一聚合物層110上的第一硅保護層120、設置在第一硅保護層120上的原子層沉積膜130、設置在原子層沉積膜130上的第二硅保護層140，及設置在第二硅保護層140上的第二聚合物層150。換言之，第一聚合物層110、第一硅保護層120、原子層沉積膜130、第二硅保護層140及第二聚合物層150依次層疊設置。

第一聚合物層110及第二聚合物層150的材質可以相同或不同，可以為聚酰亞胺層、聚碳酸酯層、聚對苯二甲酸乙二醇酯層、聚荼二甲酸乙二醇酯層或聚醚砜層。第一聚合物層110及第二聚合物層150的厚度范圍為5～10μm。

第一硅保護層120和第二硅保護層140為氮化硅或二氧化硅層，它們的厚度范圍為0.5～1μm。

柔性襯底在兩層聚合物層之間設置有原子層沉積膜130，其中原子層沉積膜130是采用原子層沉積(ALD：Atomic?Layer?Deposition)技術形成的。