[實用新型]雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機

有效

• 申請號: 201420817079.2
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN204321414U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 陳剛;辛天才;林少輝;袁聰
• 申請（專利權）人: 武漢吉事達科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及激光刻蝕技術領域，尤其涉及雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機。

背景技術

用于刻蝕顯示觸摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的銀漿激光刻蝕設備的運動驅動機構多采用二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合，這種激光刻蝕設備刻蝕速度快，效率高，但是，由于刻蝕產品對線寬有一定的要求，使得二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合的刻蝕幅面受到限制。一般情況下，F-θ透鏡組所刻蝕的幅面大，其刻蝕的線寬就寬，同時，F-θ透鏡組的焦距就大。如果加大刻蝕幅面，其刻蝕的線寬也會變寬，往往不能滿足客戶對線寬的要求。所以現有采用二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合的激光刻蝕設備的刻蝕幅面都比較小。加工一塊大的材料要實行多次拼接刻蝕，生產效率低；同時，多次刻蝕的拼接往往會使產品的良品率降低。

專利號為CN201220003814的多振鏡頭激光刻蝕機，包括機架、控制系統、計算機系統、激光發生器、吸附平臺、二維振鏡頭、兩個交叉的直線運動平臺和F-θ透鏡組，控制系統、計算機系統和激光發生器都安裝在機架上，激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在吸附平臺上方，激光發生器的激光頭的激光出光孔與二維振鏡頭的激光進光孔同心，F-θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部，兩個交叉的直線運動平臺運動方向相互垂直，激光發生器、二維振鏡頭和F-θ透鏡組各有多件，多件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合后并排安裝。此多振鏡頭激光刻蝕機，加工速度快，生產效率高。

雖然專利號為CN201220003814的多振鏡頭激光刻蝕機加工速度快，生產效率高，但是，在實際生產過程中，生產廠家的產品刻蝕線寬往往有多種要求，在要求線寬比較窄的產品中，使用較小幅面的二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合；要求線寬比較寬的產品中，使用較大幅面的二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合，以最高效率滿足不同線寬的要求。專利號為CN201220003814的多振鏡頭激光刻蝕機的多件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合后并排安裝，而且安裝后其間的距離不能調節，無法更換不同幅面的二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合，不能實現一臺設備對不同線寬及幅面的產品的生產要求。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機，此雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機，能實現一臺設備對不同線寬及幅面的產品的生產要求，設備適應性好，利用率高，生產成本低。

為了達到上述目的，本實用新型的雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機，包括機架、控制系統、計算機系統、激光發生器、吸附平臺、二維振鏡頭、兩個交叉的直線運動平臺、升降臺和F-θ透鏡組，控制系統、計算機系統和激光發生器都安裝在機架上，升降臺、激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在吸附平臺上方，激光發生器的激光頭的激光出光孔與二維振鏡頭的激光進光孔同心，F-θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部，激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在升降臺上，兩個交叉的直線運動平臺運動方向相互垂直，激光發生器、二維振鏡頭和F-θ透鏡組各有兩件，兩件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合后并排安裝，其特征在于：在一件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組下方安裝直線導軌。

因為本實用新型雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機，在一件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組下方安裝直線導軌，此件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組就可以沿直線導軌移動，使兩件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組之間的距離改變而適應不同幅面F-θ透鏡組，再通過升降臺調節F-θ透鏡組與吸附平臺之間的距離，使聚焦后的激光能對吸附平臺上的工件進行刻蝕加工。這樣就能實現一臺設備對不同線寬及幅面產品的生產要求，設備適應性好，利用率高，生產成本低。

所述的雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機，其特征在于：沿直線導軌方向安裝限位裝置。限位裝置的作用是用來每次更換F-θ透鏡組時，調節兩件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組之間的距離時定位方便。

生產過程中，如果要刻蝕不同線寬或幅面的產品，只需要更換F-θ透鏡組，再調節升降臺的高度，使聚焦后的激光能對吸附平臺上的工件進行刻蝕加工；同時調節安裝在直線導軌的激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組之間的距離，使兩組F-θ透鏡組所刻蝕的邊界能對接。

所述的機架為金屬結構件或大理石構件，是整個雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機的支撐與連接部件，控制系統、計算機系統和激光發生器都安裝在機架上。

所述的控制系統包括電氣系統及其操作控制軟件。