[實用新型]雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機有效
| 申請號: | 201420817079.2 | 申請日: | 2014-12-22 |
| 公開(公告)號: | CN204321414U | 公開(公告)日: | 2015-05-13 |
| 發明(設計)人: | 陳剛;辛天才;林少輝;袁聰 | 申請(專利權)人: | 武漢吉事達科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B23K26/362 | 分類號: | B23K26/362 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市藏*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 雙振鏡多 幅面 切換 激光 刻蝕 | ||
1.雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機,包括機架、控制系統、計算機系統、激光發生器、吸附平臺、二維振鏡頭、兩個交叉的直線運動平臺、升降臺和F-θ透鏡組;控制系統、計算機系統和激光發生器安裝在機架上,升降臺、激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在吸附平臺上方,激光發生器的激光頭的激光出光孔與二維振鏡頭的激光進光孔同心,F-θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部,激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在升降臺上,兩個交叉的直線運動平臺運動方向相互垂直,激光發生器、二維振鏡頭和F-θ透鏡組各有兩件,兩件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合后并排安裝,其特征在于:在一件激光發生器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組下方安裝直線導軌。
2.根據權利要求1所述的雙振鏡多幅面切換激光刻蝕機,其特征在于:沿直線導軌方向安裝有限位裝置。
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