[實用新型]一種用于靶材噴涂的真空罐體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420816656.6
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN204325472U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王志強;張斐;羅建冬;羅文富
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門映日新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C4/12
• 分類號: C23C4/12
• 代理公司: 廈門市精誠新創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35218
• 代理人: 方惠春

1.一種用于靶材噴涂的真空罐體，其特征在于：所述真空罐體包括罐體及多個安全閥，所述罐體兩端分別具有靶材進、出口，而所述靶材進、出口位置均與密封門配合，從而形成密封罐體；而所述多個安全閥分別安裝在靶材進、出口上端，從而形成對罐體內(nèi)低壓狀態(tài)噴涂的保護結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于靶材噴涂的真空罐體，其特征在于：所述安全閥的數(shù)量為兩個，且每個安全閥為低壓控制安全閥并能將真空罐體內(nèi)的壓力控制在-0.03?Mpa到-0.04Mpa。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于靶材噴涂的真空罐體，其特征在于：所述每個安全閥為一公斤，且公稱直徑200mm的控制閥。