[實用新型]一種清洗黑硅電池片的裝置有效
| 申請號: | 201420815906.4 | 申請日: | 2014-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN204315535U | 公開(公告)日: | 2015-05-06 |
| 發明(設計)人: | 羅西佳;蔣仙;吳而義;李華;范瓊;劉林華 | 申請(專利權)人: | 無錫德鑫太陽能電力有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 214028 江蘇省無錫*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 清洗 電池 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及光伏電池制造領域,具體涉及一種清洗黑硅電池片的裝置。
背景技術
黑硅電池制絨后的常規清洗是只用硝酸來浸泡黑硅,銀與硝酸的反應速度較慢程度弱,雖然浸泡數十分鐘,仍然無法確保附著的納米金屬顆粒無殘留,若清洗效果不理想,表面有金屬殘留時會導致嚴重的俄歇復合,會直接影響黑硅電池的電性能,轉換效率下降。
實用新型內容
實用新型目的:針對現有技術存在的不足,本實用新型提供了一種避免金屬殘留,保證黑硅電池的電性能的清洗黑硅電池片的裝置。
技術方案:一種清洗黑硅電池片的裝置,包括金屬工作槽、坩堝和超聲波發生器,所述坩堝位于長方體形金屬工作槽內部;所述金屬工作槽底部設有多個超聲波發生器;所述金屬工作槽與坩堝之間設有間隙。
具體地,所述超聲波發生器至少4個以上,通過超聲波發生器將高頻電能轉換為超聲波。
具體地,所述坩堝中盛放硝酸溶液用于清洗黑硅電池片。
具體地,所述坩堝內部放置多個硅片承載盒。
更具體地,所述坩堝與硅片承載盒之間設有間隙。
更具體地,所述硅片承載盒完全浸沒于硝酸清洗液中。
具體地,所述硅片承載盒至少有4個以上。
具體地,所述金屬工作槽中盛放水作為超聲波傳導介質,保持坩堝與金屬工作槽間超聲波的良好傳導。
具體地,所述金屬工作槽的外殼為不銹鋼外殼。
有益效果:與現有技術相比,本實用新型提供的一種清洗黑硅電池片的裝置,利用超聲波對硅片表面納米金屬顆粒的進行物理超聲波沖擊,使其從納米深坑中流出,同時配合硝酸浸泡清洗,從而加速化學反應,可避免金屬殘留,保證黑硅電池的電性能。
附圖說明
圖1是本實用新型的側面結構圖;
圖2是本實用新型的俯視圖。
具體實施方式
下面結合附圖和具體實施方式,進一步闡明本實用新型。
如圖1-2所示,一種清洗黑硅電池片的裝置,包括金屬工作槽1、坩堝2、硅片承載盒3和超聲波發生器5,金屬工作槽1外形為立方體,外殼為金屬外殼,底部設有多個超聲波發生器5,通過超聲波發生器5將高頻電能轉換為機械振動,坩堝2位于金屬工作槽1槽底7上,并且金屬工作槽1與坩堝2之間設有間隙,用于注入純水;坩堝2內部可放置至少四個硅片承載盒3,坩堝2與硅片承載盒3之間設有間隙,硅片承載盒3彼此之間設有間隙,用于注入溶液;硅片承載盒3內設有若干個用于放置黑硅電池片4的凹槽。
金屬工作槽1高度為40cm,長度為76cm;坩堝2高度為35?cm,長度為70cm,硅片承載盒3長度為30cm,因此金屬工作槽1的高度大于坩堝2高度,金屬工作槽1的長度大于坩堝2長度,坩堝2長度大于硅片承載盒3長度,坩堝2長度大于兩個硅片承載盒3長度。
裝滿制絨后的黑硅電池片的硅片承載盒3先放置在坩堝2內,再將硝酸溶液注入坩堝2內,然后將純水注入金屬工作槽1與坩堝2之間的間隙內,打開超聲清洗器5,超聲清洗20分鐘,結束后取出硅片承載盒3,再取出黑硅電池片4。
工作原理:利用金屬工作槽所發出的的50Hz的交頻電流,通過超聲波發生器5轉換成了交頻機械振蕩而傳播到介質硝酸清洗液中,強力的超聲波在清洗液中以疏密相間的形式向被洗物件輻射,使黑硅電池片4的面、孔、隙中的污垢被分散、破裂及剝落,達到凈化清潔。
本實用新型結合物理法的超聲波清洗黑硅電池片4表面,增強深坑中銀顆粒震動使其掉落出坑洞結構,增加了雜質與硝酸溶液的接觸,增強清洗,改善了黑硅電池片4清洗效果。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





