[實用新型]一種半導體用通孔/接觸孔

有效

• 申請號: 201420815187.6
• 申請日: 2014-12-18
• 公開（公告）號: CN204332947U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 李曉坤
• 申請（專利權）人: 西安華芯半導體有限公司
• 主分類號: H01L23/528
• 分類號: H01L23/528
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 張倩

技術領域

本實用新型涉及一種半導體用通孔/接觸孔。

背景技術

在半導體版圖中，有源區、多晶硅和金屬層之間的連接都需要通過通孔/接觸孔實現。有源區、多晶硅與金屬層之間的連接稱為接觸孔。不同金屬層之間的連接稱為通孔。一般這樣的通孔/接觸孔至少由三部分組成(有源區的接觸孔還會有其它的構成)：第一接觸層1、連通孔3和第二接觸孔2，第一接觸層為有源區、多晶硅或金屬層，第二接觸孔為金屬層。

在以往的版圖設計中，各物理層的連接關系一般與原理圖的設計保持一致，連接順序也基本保持一致，并要作階段性的對比驗證。對比驗證一致后再進行下一步的設計。在數模混合電路中，往往對電源和地的連接順序有嚴格的要求：即先在小范圍內連接，然后在特定的位置與總的電源或地連接。但數模混合電路中的數字部分，經常并不需要嚴格遵循這樣的順序，遵循這個順序可能會浪費面積和時間。如圖1所示的數模混合電路，其中模擬地和普通地最終需要連接在一起。在前級的版圖設計中，數模混合電路的地連接是模擬地，這是出于對電路的模擬部分需要一個不受干擾的地連接的設計考慮。但是數模混合電路中的數字部分并不需要嚴格按照這樣的連接方式接地，所以圖示中的若干數字部分在前級設計中就與普通地連接在一起，而且很明顯，這樣連接更方便易行，但是在對比驗證是不需要數字部分與普通地連接。這樣連接方式在雖然方便，但是還存在下面問題：在前級設計中數字部分就與普通地連接，就不能通過版圖和原理圖的對比驗證，設計不能繼續進行。

另外，在有些原理設計中，因為要適應仿真的需要或其他原因，也存在實際應該連接，但在某些區域、階段不能連接的問題。

發明內容

為了解決現有的版圖設計中存在某些階段需要連接，某些階段又不能連接，一些階段無法進行的技術問題，本實用新型提供一種半導體用通孔/接觸孔。

本實用新型的技術解決方案為：

一種半導體用通孔/接觸孔，包括第一接觸層1、連通孔3以及第二接觸層2，所述第一接觸層1與第二接觸層2通過連通孔3連接，其特征在于：還包括模擬層4，所述模擬層包圍在連通孔的外側；

通過模擬層的定義和驗證規則的設置，能夠選擇模擬層有效或無效。

上述第一接觸層為有源區、多晶硅或金屬層，所述第二接觸孔為金屬層。

模擬層以一定的比例包圍在通孔/接觸孔的連通孔上。

本實用新型的優點在于：

1、節省設計時間。在特定的情況下，最終需要連接的地方通過模擬層可以很容易實現連接，避免了復雜或較困難的連接方式，節省了設計時間。它的使用，可以減少部分原理設計與物理實現之間的差距造成的實現困難，減少設計時間和錯誤發生，提高設計效率和產品性能，且簡單易行。

2、提高設計效率并減少錯誤發生。如果版圖是多次復用的，那么在前級設計中使用本實用新型所提供的通孔/接觸孔可以一次性解決所有復用版圖的問題，而且避免多次重復增加通孔/接觸孔可能帶來的錯誤。

3、提高產品性能。使用本實用新型這種通孔/接觸孔，可以避免版圖中多余的走線連接，節省了設計面積，從而使提高產品性能成為可能。

4、簡單易行。本實用新型通孔/接觸孔的原理簡單，容易實現，但是在版圖設計中又提供了很大的方便，很容易采用及推廣。

附圖說明

圖1為現有通孔/接觸孔使用的情況示意圖；

圖2為本實用新型通孔/接觸孔的結構示意圖；

圖3為設計驗證的設置實現示意圖。

其中附圖標記為：1-第一接觸層，2-第二接觸層，3-連通孔，4-模擬層。

具體實施方式

如圖2所示，這種通孔/接觸孔在原來的基礎上增加了新的一層(模擬層)。模擬層存在于版圖設計中，但不存在于物理實現中。它以一定的比例包圍在通孔/接觸孔的連通孔上。如圖2所示，實踐中，通過模擬層的定義和驗證規則的設置，可以選擇模擬層有效或無效(被忽略)。

模擬層被定義為所包圍的連通孔這一層有效或無效：即模擬層有效，則連通孔無效；通孔/接觸孔視為只有兩層金屬層或一層金屬層一層有源區/多晶硅。模擬層無效，則連通孔有效，此時通孔/接觸孔為傳統的通孔/接觸孔。

這樣在實際應用中，在允許實際連接，但在當前區域/階段不能連接的位置放置這種特殊的通孔/接觸孔。通過驗證的設置，使模擬層有效，從而忽略通孔/接觸孔的存在，使驗證有效。而在后續的總驗證中，使模擬層無效，得到真正的驗證結果。

模擬層的有效可以在最后總驗證前的任何一個階段實現，但是在最后驗證中必需無效，避免錯誤放置特殊孔帶來的錯誤。驗證的設置可以如圖3所示。如果選擇這次驗證是最終驗證，則模擬層有效的選項不可選；否則可以選擇模擬層有效或者無效。