[實用新型]PECVD石墨舟用石墨釘

有效

• 申請號: 201420788596.1
• 申請日: 2014-12-12
• 公開（公告）號: CN204417588U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 魯科;喬琦;陸紅艷;黃海濤;陳如龍
• 申請（專利權）人: 無錫尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及管式PECVD鍍膜領域，尤其是一種PECVD石墨舟用石墨釘。

背景技術

目前太陽能電池鍍膜設備中管式PECVD（如centrotherm）采用石墨舟作為硅片的載具進入PECVD腔體內進行鍍膜。如圖1所示。有一些硅片2插入石墨舟后，需要利用石墨舟上舟片1上的石墨釘3卡住硅片2，如圖2所示。

現有的石墨釘3的結構如圖3和圖4所示，石墨釘3的基體31是圓柱體，上部是一個外側面往下內收縮的菱形體32，舟片1的結構如圖5所示，舟片1上具有與石墨釘3基體31配合的舟片孔洞11；現有的舟片孔洞11是圓形的。因此現有的石墨釘3嵌入圓形的舟片孔洞11后，容易產生舟片裝配時，安裝角度未正確，從而導致石墨釘3無法卡住硅片2，繼而造成硅片2掉落或與舟片1貼合不緊密，直接導致鍍膜失敗或鍍膜顏色不均勻（色差），如圖6所示。

發明內容

針對現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種PECVD石墨舟用石墨釘，改進了石墨釘的形狀，可以完全解決石墨釘裝配角度不到位的問題，從而避免鍍膜異常問題。本實用新型采用的技術方案是：

一種PECVD石墨舟用石墨釘，包括基體，基體上部具有一個外側面往下內收縮的菱形體；菱形體內收縮部位用于卡住硅片，改進之處在于：

基體的前后側面為豎立平面，而基體的左右側具有弧形側面；

或者，石墨釘基體的形狀為橢圓體型或長方體型。

優選地，石墨釘基體的前后側面為平行平面。

本實用新型的優點在于：

1）解決了管式PECVD石墨釘角度安裝不到位，導致鍍膜異常問題。

2）采用石墨釘非正圓形設計方案，能夠固定裝配角度。

3）石墨釘安裝過程簡單化，防止出錯，石墨釘角度安裝到位。

附圖說明

圖1為現有的PECVD石墨舟示意圖。

圖2為現有的石墨釘卡住硅片示意圖。

圖3為現有的石墨釘立體圖。

圖4為現有的石墨釘俯視示意圖。

圖5為現有的舟片結構示意圖。

圖6為現有的石墨釘裝配角度未到位導致硅片無法卡緊示意圖。

圖7為改進后的石墨釘示意圖。

圖8為與改進后的石墨釘配合的舟片結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

本實用新型對于石墨釘的形狀做了改進，以使其具有固定角度的功能。

如圖7所示，一種PECVD石墨舟用石墨釘，包括基體31，基體31上部具有一個外側面往下內收縮的菱形體32（和圖3所示相同）；菱形體32內收縮部位可用于卡住硅片。

基體31的形狀不再是圓柱體，而是設計成如圖7所示的形狀，基體31的前后側面為豎立平面，而基體31的左右側具有弧形側面。舟片1上的舟片孔洞11形狀也做相應改變，如圖8所示，以與基體31外形相配合。

改進后的石墨釘3不可能旋轉，因此可以完全解決石墨釘裝配角度不到位的問題。基體31的前后側面優選為平行平面，方便加工成型。

在其它實施例中，石墨釘3基體31的形狀也可以采用橢圓體型或長方體型。