[實用新型]電容結構及電容式MEMS器件

有效

• 申請號: 201420787113.6
• 申請日: 2014-12-12
• 公開（公告）號: CN204434267U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 郭梅寒;王輝
• 申請（專利權）人: 深迪半導體（上海）有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

技術領域

本實用新型涉及MEMS(Micro?Electro?Mechanical?System，微機電系統)技術領域，更具體的說，涉及一種電容結構及電容式MEMS器件。

背景技術

MEMS是一種以半導體技術為基礎發展起來先進的微機電系統。MEMS器件以其體積小、成本低、重量輕、集成性好等諸多優點，已經被越來越廣泛的應用在如消費電子、醫療、汽車等領域中。電容式MEMS器件是MEMS器件中重要分支之一，許多主流產品，例如麥克風、壓力傳感器、陀螺儀、加速度計、諧振器等均基于電容式MEMS器件制作而成。但是，現有的電容式MEMS器件的驅動和檢測能力仍有提升的空間。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種電容結構及電容式MEMS器件，提高了電容式MEMS器件的驅動和檢測能力，提高了微機械器件的性能。

為實現上述目的，本實用新型提供的技術方案如下：

一種電容結構，應用于電容式MEMS器件，包括：

多個第一極板和多個第二極板，所述第一極板和所述第二極板之間沿第一方向交替設置；

其中，在所述第一方向的切面上，所述第一極板和所述第二極板之間有交疊區域，且所述第一極板的高度和所述第二極板的高度均大于所述交疊區域的高度。

優選的，在所述第一方向的切面上，多個所述第一極板朝向相同的端部相齊平，且多個所述第二極板朝向相同的端部相齊平。

優選的，在所述第一方向的切面上，所述第一極板和所述第二極板的高度相同或不同。

優選的，所述第一極板和第二極板均為半導體極板或金屬極板。

優選的，所述第一極板和第二極板為硅極板或鍺極板。

一種電容式MEMS器件，包括電容電極，所述電容電極包括相對應設置的固定梳齒和可動梳齒，所述固定梳齒包括多個第一極板，所述可動梳齒包括多個第二極板，所述第一極板和第二極板之間沿第一方向交替設置；

其中，在所述第一方向的切面上，所述第一極板和所述第二極板之間有交疊區域，且所述第一極板的高度和第二極板的高度均大于所述交疊區域的高度。

優選的，在所述第一方向的切面上，多個所述第一極板朝向相同的端部相齊平，且多個所述第二極板朝向相同的端部相齊平。

優選的，在所述第一方向的切面上，所述第一極板和所述第二極板的高度相同或不同。

優選的，所述第一極板和第二極板均為半導體極板或金屬極板。

優選的，所述第一極板和第二極板為硅極板或鍺極板。

相較于現有技術，本實用新型提供的技術方案至少具有以下優點：

本實用新型提供的一種電容結構及電容式MEMS器件，包括：多個第一極板和多個第二極板，所述第一極板和所述第二極板之間沿第一方向交替設置；其中，在所述第一方向的切面上，所述第一極板和所述第二極板之間有交疊區域，且所述第一極板的高度和所述第二極板的高度均大于所述交疊區域的高度。

由上述內容可知，本實用新型提供的技術方案，通過將第一極板和第二極板的朝向相同的兩端均設置高低差，即在第一方向的切面上，第一極板的兩端均高于第二極板具有相同朝向的兩端。當采用上述電容結構應用于電容電極中，且對電容電極通電而使得第一極板和第二極板沿極板高度的延伸方向相對運動時，電容電極的電容大小變化率大，進而提高了電容電極的驅動和檢測能力，即提高了電容式MEMS器件的驅動和檢測能力，提高了微機械器件的性能。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1a為現有的一種電容結構的結構示意圖；

圖1b為圖1a中沿第一方向AA’的切面圖；

圖2a為現有的一種電容結構的結構示意圖；

圖2b為圖2a中沿第一方向AA’的切面圖；

圖3a為本申請實施例提供的一種電容式MEMS器件的結構示意圖；

圖3b為圖3a中沿第一方向AA’的切面圖。

具體實施方式