[實用新型]半自動貼膜機有效
| 申請號： | 201420761910.7 | 申請日： | 2014-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN204315523U | 公開（公告）日： | 2015-05-06 |
| 發明（設計）人： | 陳斌 | 申請（專利權）人： | 南通富士通微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮;郭棟梁 |
| 地址： | 226006 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半自動 貼膜機 | ||
1.一種半自動貼膜機，包括機架及轉動連接于所述機架上的廢膜筒，其特征在于，所述機架上靠近所述廢膜筒位置處設置有行程開關，所述行程開關的推桿用于頂壓于所述廢膜筒上纏繞的廢膜的表面。
2.根據權利要求1所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述推桿的端部設置有滾輪，所述推桿的轉動軸線與所述廢膜筒的軸線平行，所述滾輪的軸線與所述廢膜筒的軸線平行。
3.根據權利要求1所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述推桿的端部設置有滾輪，所述推桿的轉動軸線與所述廢膜筒的軸線垂直，所述滾輪的軸線與所述廢膜筒的軸線平行。
4.根據權利要求2或3所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述滾輪的軸線與所述廢膜筒的軸線位于同一水平面。
5.根據權利要求1-3任一項所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述推桿端部的運動極限值為8cm。
6.根據權利要求1-3任一項所述的半自動貼膜機，其特征在于，還包括上下相對的上真空腔和下真空腔，所述機架上轉動連接有蘭膜筒，所述蘭膜筒的蘭膜輸出方向上設置有第一換向輥，所述第一換向輥用于將所述蘭膜引導至所述上真空腔和所述下真空腔之間。
7.根據權利要求6所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述蘭膜筒與所述第一換向輥之間設置有第一張緊承托輥。
8.根據權利要求7所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述上真空腔與所述廢膜筒之間順次設置有第二換向輥和第二張緊承托輥。
9.根據權利要求6所述的半自動貼膜機，其特征在于，所述下真空腔上設有柱形貼片臺，所述貼片臺與所述上真空腔配合使用。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
