[實用新型]一種新型圓柱直流磁控濺射靶

有效

• 申請號: 201420747158.0
• 申請日: 2014-12-03
• 公開（公告）號: CN204281850U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 郭濤;蔡云鋒;龍騰;楊東恒
• 申請（專利權）人: 深圳市萊恩頓納米技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 深圳眾鼎專利商標代理事務所(普通合伙) 44325
• 代理人: 朱業剛;譚果林

1.一種新型圓柱直流磁控濺射靶，包括靶帽、靶體、靶座、靶座法蘭、傳動裝置、絕緣裝置、減速電機；其中靶帽設置在靶體頂端，該靶體另一端與靶座連接；其特征是，所述靶座內部設有傳動裝置，靶座外圓周面上設有靶座法蘭；所述靶座與靶座法蘭之間設有絕緣裝置，其中靶座法蘭通過立柱與電機安裝架連接，該電機安裝架上設有減速電機。

2.根據權利要求1所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述靶體，包括靶心、靶心安裝桿、磁鐵、靶材，其中靶心套置在靶心安裝桿上，靶材套置在靶心外，且靶材與靶心之間設有空隙；所述靶心外圓周面上沿軸向設有多條凹槽，每條凹槽內設有若干條形磁鐵。

3.根據權利要求2所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述靶心頂端設有擋圈，該靶心末端設有定位環，其中條形磁鐵設置在擋圈和定位環之間。

4.根據權利要求1所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述靶帽，包括端蓋、銅套、端蓋螺母、密封圈；其中銅套套置在靶心安裝桿的頂端，端蓋設置在靶材頂端，該端蓋與靶材頂端之間設有密封圈，其中端蓋螺母用于擰緊并固定端蓋。

5.根據權利要求1所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述靶座前端與靶材末端連接，該靶材與靶座之間設有密封圈；所述靶座末端設有靶座蓋，該靶座蓋與靶座通過螺釘緊固。

6.根據權利要求1所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述傳動裝置，包括傳動軸、軸承、軸承壓緊圈、聯軸器、油封、油封擋圈；其中傳動軸末端通過聯軸器與減速電機的輸出軸連接，該傳動軸前端套置在靶心安裝桿末端，并通過固定銷固定；所述傳動軸與軸承配合，該傳動軸上設有油封和油封擋圈，其中油封緊貼軸承前端，該軸承末端設有軸承壓緊圈，該軸承壓緊圈緊貼靶座蓋內側。

7.根據權利要求1所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述絕緣裝置，包括第一絕緣套、第二絕緣套、第三絕緣套、第一密封圈、第二密封圈和絕緣套壓緊環。

8.根據權利要求1或7所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述靶座法蘭通過圓螺母固定在在靶座外圓周面上，?其中圓螺母與靶座法蘭之間依次設有第一絕緣套、絕緣套壓緊環、第二絕緣套、第三絕緣套。

9.根據權利要求8所述的一種新型圓柱直流磁控濺射靶，其特征是，所述靶座法蘭與靶座之間設有第三絕緣套，該第三絕緣套與靶座之間設有第一密封圈，第三絕緣套與靶座法蘭之間設有第二密封圈。