[實(shí)用新型]光刻機(jī)及光刻機(jī)用上版夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420726857.7
• 申請日: 2014-11-27
• 公開（公告）號: CN204215146U
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜武兵;林偉;孫多衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 深圳市維邦知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44269
• 代理人: 黃莉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鉻版制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)及光刻機(jī)用上版夾具。

背景技術(shù)

現(xiàn)有光刻機(jī)（如德國海德堡MW800光刻機(jī)）的操作步驟如下：上版——定位——移動平臺——聚焦——找中心——曝光——取版。其中，找中心是使放置于曝光平臺1上的鉻版2中心與對應(yīng)的曝光圖形中心對齊，誤差不超過1MM，請參閱圖1，現(xiàn)有操作方式是將鉻版2與曝光平臺1的邊緣直接對齊后不斷調(diào)整來找中心，移動平臺、聚焦需要1分鐘，找中心需要3分鐘，取版需要1分鐘，總共需要耗時7分鐘，導(dǎo)致光刻速度低，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種操作簡單，節(jié)省操作時間，提升生產(chǎn)效率的光刻機(jī)及光刻機(jī)用上版夾具。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提出了一種光刻機(jī)用上版夾具，用于使放置于曝光平臺上的鉻版中心與對應(yīng)的曝光圖形中心對齊，所述上版夾具包括將鉻版在第一軸向上定位的第一軸向定位條，與第一軸向定位條一體成型的、將鉻版在第二軸向上定位的第二軸向定位條，且第一軸向定位條、第二軸向定位條的外側(cè)緣分別抵于設(shè)于曝光平臺上的第一軸向定位釘、第二軸向定位釘，內(nèi)側(cè)緣分別抵于鉻版的第一邊緣和第二邊緣。

進(jìn)一步地，第一軸向定位條、第二軸向定位條的內(nèi)側(cè)緣分別沿垂直于所在的軸向方向延伸形成抵頂塊，所述抵頂塊用于抵頂所述鉻版。

進(jìn)一步地，所述抵頂塊呈半圓形、橢圓形或方塊形。

進(jìn)一步地，所述上版夾具呈L形。

相應(yīng)地，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種光刻機(jī)，所述光刻機(jī)的曝光平臺上均勻設(shè)置多個呈點(diǎn)陣狀排列的吸氣孔，所述光刻機(jī)的曝光平臺上沿第一軸向方向和第二軸向的吸氣孔中分別設(shè)有第一軸向定位釘和第二軸向定位釘，所述光刻機(jī)包括如上所述的光刻機(jī)用上版夾具。

進(jìn)一步地，所述第一軸向定位釘和第二軸向定位釘分別設(shè)于曝光平臺的邊緣位置。

本實(shí)用新型實(shí)施例的光刻機(jī)用上版夾具的有益效果是：通過設(shè)置一體成型的第一軸向定位條、第二軸向定位條，且對應(yīng)的外側(cè)緣分別抵于設(shè)于曝光平臺上的第一軸向定位釘、第二軸向定位釘，內(nèi)側(cè)緣分別抵于鉻版的第一邊緣和第二邊緣，從而使用所述上版夾具可使鉻版直接對齊，操作簡單，節(jié)省了操作時間，提升了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的上版對齊示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的光刻機(jī)用上版夾具的使用示意圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的光刻機(jī)用上版夾具的另一角度的使用示意圖。

具體實(shí)施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互結(jié)合，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。本說明書中，第一軸優(yōu)選為X軸，第二軸優(yōu)選為Y軸。

請參考圖2至圖3，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種光刻機(jī)用上版夾具10，所述上版夾具10呈L形，當(dāng)然也可呈U形。所述上版夾具10用于使放置于曝光平臺30上的鉻版100中心與對應(yīng)的曝光圖形中心對齊，包括將鉻版100在第一軸向上定位的第一軸向定位條，與第一軸向定位條一體成型的、將鉻版100在第二軸向上定位的第二軸向定位條，且第一軸向定位條、第二軸向定位條的外側(cè)緣分別抵于設(shè)于曝光平臺30上的第一軸向定位釘20、第二軸向定位釘20，內(nèi)側(cè)緣分別抵于鉻版100的第一邊緣和第二邊緣。優(yōu)選地，所述上版夾具10采用透明塑膠材料制成，更方便對齊操作。

第一軸向定位條、第二軸向定位條的內(nèi)側(cè)緣分別沿垂直于所在的軸向方向延伸形成抵頂塊11，所述抵頂塊11用于抵頂所述鉻版100。優(yōu)選地，所述抵頂塊11呈半圓形、橢圓形或方塊形。借由所述抵頂塊11減少了所述上版夾具10與鉻版100的接觸面積，實(shí)現(xiàn)精確定位的同時，減少了對鉻版100的接觸磨損，可對鉻版100邊緣更有效地保護(hù)。

本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種光刻機(jī)，所述光刻機(jī)優(yōu)選為德國海德堡MW800光刻機(jī)，曝光平臺30上均勻設(shè)置多個呈點(diǎn)陣狀排列的吸氣孔，所述光刻機(jī)的曝光平臺30上沿第一軸向方向和第二軸向的吸氣孔中分別設(shè)有第一軸向定位釘20和第二軸向定位釘20，所述光刻機(jī)包括如上所述的光刻機(jī)用上版夾具10。作為一種實(shí)施方式，所述吸氣孔用于吸附固定所述鉻版100和上版夾具10。優(yōu)選地，所述曝光平臺上還設(shè)有用于壓緊固定所述鉻版100和/或上版夾具10的壓緊裝置。

所述第一軸向定位釘20和第二軸向定位釘20分別設(shè)于曝光平臺30的邊緣位置。

本實(shí)用新型實(shí)施例的光刻機(jī)用上版夾具10具體的制造和使用過程為：