[實(shí)用新型]MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420715723.5
• 申請(qǐng)日: 2014-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN204281856U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋景鋒;傅華;南琦;王輝;王懷兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州新納晶光電有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)

MO源在LED外延生長(zhǎng)過程中為必要的氣源，MO源瓶在使用中需要放置在水域槽中，同時(shí)，還必須保證MO源瓶整體浸沒在水中，才能保持在生產(chǎn)過程中MO源溫度恒定，保證生產(chǎn)質(zhì)量。一般恒溫水浴槽為統(tǒng)一規(guī)格，而各家MO源廠家及不同MO源的瓶大小不一，導(dǎo)致MO源瓶在水浴槽中位置不固定，容易發(fā)生MO源瓶?jī)A斜歪倒。

同時(shí)，MO源實(shí)際使用過程中，對(duì)瓶中產(chǎn)品剩余量無法估計(jì)，技術(shù)人員只能憑經(jīng)驗(yàn)生產(chǎn)一段時(shí)間后，將MO源瓶取出，進(jìn)行稱重后，再做評(píng)估。耗費(fèi)時(shí)間，不利于最大化利用MO源，而且不利于連續(xù)性生產(chǎn)。

故專利201220468026.5中揭示了一種MO源瓶支架，采用緊固螺栓的設(shè)備將MO源瓶固定在容器中。在實(shí)際操作中，MO源瓶為圓柱體，采用緊固螺栓不易實(shí)現(xiàn)固定。同時(shí)，不斷人工調(diào)節(jié)其高度也使得操作繁瑣不便。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提出一種可自動(dòng)調(diào)節(jié)MO源瓶高度的調(diào)節(jié)裝置。

本實(shí)用新型的目的，將通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)：

MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括水浴槽，所述水浴槽內(nèi)的底部連接有高度調(diào)節(jié)模塊，所述高度調(diào)節(jié)模塊上放置MO源瓶，所述高度調(diào)節(jié)模塊與設(shè)置在水浴槽外的PLC控制器電性連接，所述PLC控制器控制高度調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)。

優(yōu)選地，所述高度調(diào)節(jié)模塊包括設(shè)置于底部的彈性件及設(shè)置在彈性件上的稱重器。

優(yōu)選地，所述彈性件為彈簧，所述稱重器內(nèi)還設(shè)置有重力傳感器，所述彈簧的軸線與水浴槽底面垂直。

優(yōu)選地，所述高度調(diào)節(jié)模塊還包括一柔性套，所述彈性件及稱重器置于柔性套內(nèi)。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)裝置還包括一報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置與所述PLC控制器電性連接。

優(yōu)選地，所述報(bào)警裝置為聲音報(bào)警裝置或發(fā)光報(bào)警裝置。

優(yōu)選地，所述PLC控制器中包括有控制模塊及數(shù)據(jù)分析模塊。

本實(shí)用新型突出效果為：可以自動(dòng)調(diào)節(jié)MO源瓶在水浴槽中的位置，同時(shí)，在生產(chǎn)過程中，當(dāng)MO源瓶中MO源剩余量達(dá)到預(yù)警值時(shí)，將啟動(dòng)報(bào)警裝置，提醒工藝人員及時(shí)更換，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。

以下便結(jié)合實(shí)施例附圖，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳述，以使本實(shí)用新型技術(shù)方案更易于理解、掌握。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

結(jié)合如圖1所示，本實(shí)用新型揭示了一種MO源瓶高度可自動(dòng)調(diào)節(jié)并可及時(shí)報(bào)警的裝置，包括水浴槽1，所述水浴槽1內(nèi)的底部連接有高度調(diào)節(jié)模塊。所述高度調(diào)節(jié)模塊上放置MO源瓶2，所述高度調(diào)節(jié)模塊與設(shè)置在水浴槽1外的PLC控制器5電性連接，所述PLC控制器5控制高度調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)。

具體的，所述高度調(diào)節(jié)模塊包括設(shè)置于底部的彈性件4及設(shè)置在彈性件上的稱重器3。所述彈性件4可以為彈簧，所述稱重器3內(nèi)還設(shè)置有重力傳感器。當(dāng)然，也可以采用其他的部件。

所述高度調(diào)節(jié)模塊還包括一柔性套，所述彈性件4及稱重器3置于柔性套內(nèi)。所述柔性套可以采用橡膠波紋管，此柔性套主要是為了保證彈性件4及稱重器3能與水浴槽1中的水保持隔絕狀態(tài)，延長(zhǎng)其使用壽命。

所述調(diào)節(jié)裝置還包括一報(bào)警裝置（圖中未示意），所述報(bào)警裝置與所述PLC控制器電性連接。所述報(bào)警裝置為聲音報(bào)警裝置或發(fā)光報(bào)警裝置。可以采用告警燈或鳴笛等。

以下簡(jiǎn)述下本實(shí)用新型的使用原理：

將MO源瓶放置于高度調(diào)節(jié)模塊上，MO源瓶通過管道21將MO源進(jìn)入到MOCVD設(shè)備中進(jìn)行外延生長(zhǎng)。當(dāng)MO源瓶放置于水浴槽1后，根據(jù)MO源瓶規(guī)格及水浴槽1液面高度，通過PLC控制器進(jìn)行MO源在水浴槽中的高度調(diào)節(jié)。

具體的，高度調(diào)節(jié)模塊內(nèi)的稱重器對(duì)MO源瓶在使用中的重量隨時(shí)進(jìn)行稱重，并通過重力傳感器將信號(hào)傳輸至PLC控制器上，所述PLC控制器進(jìn)行分析控制后將需要進(jìn)行調(diào)高的信號(hào)傳輸至高度調(diào)節(jié)模塊，彈性件接收到信號(hào)后進(jìn)行上升或下降，使得MO源瓶調(diào)節(jié)至所需高度。

當(dāng)MO源瓶在使用時(shí)，隨著MO源的減少，PLC控制器會(huì)接收到重力傳感器的信號(hào)后通過數(shù)據(jù)分析模塊進(jìn)行分析，若分析后得知的MO源量在預(yù)設(shè)值的預(yù)警值內(nèi)，則信號(hào)傳輸至報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置接收到信號(hào)后進(jìn)行相應(yīng)的報(bào)警，提示操作人員進(jìn)行相應(yīng)的更換等操作。

本裝置實(shí)用性強(qiáng)，且能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)MO源瓶的位置，大大節(jié)省了操作人員在對(duì)MO源瓶使用的控制時(shí)間。由于其整個(gè)裝置內(nèi)采用柔性套等均具有全密封式、防潮濕、防腐蝕，故使得裝置的使用條件不限，可在惡劣條件下使用。