[實用新型]MO源瓶自動調節裝置有效
| 申請號： | 201420715723.5 | 申請日： | 2014-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN204281856U | 公開（公告）日： | 2015-04-22 |
| 發明（設計）人： | 宋景鋒;傅華;南琦;王輝;王懷兵 | 申請（專利權）人： | 蘇州新納晶光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 陸明耀;陳忠輝 |
| 地址： | 215021 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mo 自動 調節 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.MO源瓶自動調節裝置，包括水浴槽，其特征在于：所述水浴槽內的底部連接有高度調節模塊，所述高度調節模塊上放置MO源瓶，所述高度調節模塊與設置在水浴槽外的PLC控制器電性連接，所述PLC控制器控制高度調節模塊進行高度的調節。
2.根據權利要求1所述的MO源瓶自動調節裝置，其特征在于：所述高度調節模塊包括設置于底部的彈性件及設置在彈性件上的稱重器。
3.根據權利要求2所述的MO源瓶自動調節裝置，其特征在于：所述彈性件為彈簧，所述稱重器內還設置一重力傳感器，所述彈簧的軸線與水浴槽底面垂直。
4.根據權利要求2所述的MO源瓶自動調節裝置，其特征在于：所述高度調節模塊還包括一柔性套，所述彈性件及稱重器置于柔性套內。
5.根據權利要求1所述的MO源瓶自動調節裝置，其特征在于：所述調節裝置還包括一報警裝置，所述報警裝置與所述PLC控制器電性連接。
6.根據權利要求5所述的MO源瓶自動調節裝置，其特征在于：所述報警裝置為聲音報警裝置或發光報警裝置。
7.根據權利要求5所述的MO源瓶自動調節裝置，其特征在于：所述PLC控制器中包括有控制模塊及數據分析模塊。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
