[實用新型]一種液刀清洗裝置

有效

• 申請號: 201420713520.2
• 申請日: 2014-11-24
• 公開（公告）號: CN204167277U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 李登濤;鄭載潤;王世凱;金童燮;許亞東;梁渲祺;王華東
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本實用新型涉及顯示面板制造技術領域，特別是涉及一種液刀清洗裝置。

背景技術

在平板顯示裝置中，TFT-LCD(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，薄膜晶體管液晶顯示器，簡稱TFT-LCD)具有體積小、功耗低、制造成本相對較低和無輻射等特點，在當前的平板顯示器市場占據了主導地位。隨著玻璃基板的尺寸大型化，為保證產品的合格率，每一步制造工藝都面臨著更大的挑戰。

濕法刻蝕是顯示面板制造過程中的重要一環，其利用刻蝕液刻蝕掉基板表面未覆蓋光刻膠的金屬區域，從而形成具有一定圖案的金屬層。如圖1所示，濕法刻蝕后對基板進行清洗的設備包括液刀清洗裝置100和噴淋裝置200。在液刀清洗裝置100中，液刀14的刀口為線狀，可噴射出均勻的去離子水幕，從而對傳送滾輪10上的基板13進行快速沖洗，去掉基板13上殘留的刻蝕液。噴淋裝置200設置在液刀清洗裝置100的下游，包含多個噴頭201，噴頭201噴灑出的去離子水可對傳送滾輪10上的基板進行淋洗，從而將基板進一步清洗干凈。

如圖1所示，現有的液刀清洗裝置100主要包括：支撐板24、L形防濺罩11和液刀14，其中：支撐板24與清洗腔室的側壁16固定連接，防濺罩11的頂板與支撐板24固定連接，液刀14設置在防濺罩11的下方，刀口朝向傳送滾輪10。

上述現有技術存在的缺陷在于，液刀清洗裝置100在工作時，水汽極易在防濺罩11的下方以及液刀14的G角處凝結成液滴，液滴滴落在基板13上會對殘留的刻蝕液進行輕度稀釋，從而使刻蝕液與基板再次發生刻蝕反應。這在一定程度上影響了基板的均一性，進而影響到產品品質。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的是提供一種液刀清洗裝置，以提高基板的均一性，進而提高產品品質。

本實用新型實施例所提供的液刀清洗裝置，包括：

防濺罩，固定于清洗腔室的側壁；

液刀，位于防濺罩的下方；

斜擋板，位于防濺罩和液刀之間，所述斜擋板的較高側與清洗腔室的側壁固定連接，所述斜擋板的較低側與液刀的刀口頂部固定連接。

在本實用新型實施例的技術方案中，斜擋板可將液刀和傳送滾輪上的基板與大部分水汽隔離，滴落在斜擋板上的液滴可沿斜面流下，而不會滴落在液刀尚未沖洗的基板上。相比于現有技術，本方案可大大減少液滴對基板均一性的影響，提高了產品品質。

優選的，所述斜擋板包括至少兩節平板單元；相鄰兩節平板單元的上表面交匯處設置有豎擋板，所述豎擋板與較高一節的平板單元形成第一導流槽。第一導流槽可快速地將匯聚的去離子水導向液刀清洗裝置的兩側。

優選的，所述斜擋板的較高側與清洗腔室的側壁之間具有第一密封墊。第一密封墊可以防止液滴從斜擋板與清洗腔室側壁的縫隙處流下，從而防止液滴滴落在基板上，對基板的均一性產生不良影響。

優選的，所述斜擋板的較低側與液刀的刀口頂部之間具有第二密封墊，所述斜擋板、第二密封墊和液刀的刀口頂部之間形成第二導流槽。該第二導流槽可快速地將斜擋板下表面匯聚的去離子水導向液刀清洗裝置的兩側。

較佳的，液刀清洗裝置還包括：與清洗腔室的側壁固定連接的支撐板，所述支撐板的上表面具有第三導流槽；所述防濺罩的頂板與所述支撐板的上表面固定連接。當防濺罩與支撐板之間的縫隙處滲入去離子水時，可快速的通過該第三導流槽排向液刀清洗裝置的兩側。

優選的，所述液刀的刀口朝向相鄰兩個傳送滾輪之間的間隙。這樣，當傳送滾輪上未放置基板時，液刀刀口噴出的去離子水幕不會沖擊傳送滾輪，從而減少了液體回濺，有效減少了水汽的產生。

較佳的，液刀清洗裝置還包括：位于液刀的刀口下方的豎擋板，所述豎擋板的高度低于傳送滾輪的傳送平面。在對基板進行清洗之前，需要先使液刀工作一段時間，使去離子水幕噴出均勻。設置豎擋板可有效減少液體的回濺，從而減少水汽的產生。

較佳的，液刀清洗裝置還包括：位于斜擋板下方、傳送滾輪上方的吹散管；以及向吹散管中鼓入氣流的鼓風裝置。鼓風裝置可以在傳送滾輪上未放置基板時向吹散管中鼓入干冷氣流，從而使吹散管將斜擋板下方的水汽吹散，減少液滴的凝結。

更佳的，所述吹散管的管壁分布有多個出氣孔。鼓入吹散管中的干冷氣流可以從多個出氣孔吹出，從而可以從多個方向將斜擋板下方的水汽吹散，吹散效果更佳。

附圖說明

圖1為現有清洗設備結構示意圖；

圖2為包含本實用新型一種實施例的液刀清洗裝置的清洗設備結構示意圖；