[實用新型]一種液刀清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420713520.2
• 申請日: 2014-11-24
• 公開（公告）號: CN204167277U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設計）人: 李登濤;鄭載潤;王世凱;金童燮;許亞東;梁渲祺;王華東
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種液刀清洗裝置，其特征在于，包括：

防濺罩，固定于清洗腔室的側(cè)壁；

液刀，位于防濺罩的下方；

斜擋板，位于防濺罩和液刀之間，所述斜擋板的較高側(cè)與清洗腔室的側(cè)壁固定連接，所述斜擋板的較低側(cè)與液刀的刀口頂部固定連接。

2.如權利要求1所述的液刀清洗裝置，其特征在于，所述斜擋板包括至少兩節(jié)平板單元；相鄰兩節(jié)平板單元的上表面交匯處設置有豎擋板，所述豎擋板與較高一節(jié)的平板單元形成第一導流槽。

3.如權利要求1所述的液刀清洗裝置，其特征在于，所述斜擋板的較高側(cè)與清洗腔室的側(cè)壁之間具有第一密封墊。

4.如權利要求1所述的液刀清洗裝置，其特征在于，所述斜擋板的較低側(cè)與液刀的刀口頂部之間具有第二密封墊，所述斜擋板、第二密封墊和液刀的刀口頂部之間形成第二導流槽。

5.如權利要求1～4任一項所述的液刀清洗裝置，其特征在于，還包括與清洗腔室的側(cè)壁固定連接的支撐板，所述支撐板的上表面具有第三導流槽；所述防濺罩的頂板與所述支撐板的上表面固定連接。

6.如權利要求1～4任一項所述的液刀清洗裝置，其特征在于，所述液刀的刀口朝向相鄰兩個傳送滾輪之間的間隙。

7.如權利要求1～4任一項所述的液刀清洗裝置，其特征在于，還包括：位于液刀的刀口下方的豎擋板，所述豎擋板的高度低于傳送滾輪的傳送平面。

8.如權利要求1～4任一項所述的液刀清洗裝置，其特征在于，還包括：

位于斜擋板下方、傳送滾輪上方的吹散管；以及向吹散管中鼓入氣流的鼓風裝置。

9.如權利要求8所述的液刀清洗裝置，其特征在于，所述吹散管的管壁分布有多個出氣孔。