[實用新型]一種帶有分層式推桿機構的半導體制品排出裝置有效
| 申請號: | 201420711946.4 | 申請日: | 2014-11-25 |
| 公開(公告)號: | CN204179067U | 公開(公告)日: | 2015-02-25 |
| 發明(設計)人: | 丁海生;陳迎志;楊亞萍;鄭翔;劉正龍;王宗華 | 申請(專利權)人: | 銅陵三佳山田科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 銅陵市天成專利事務所 34105 | 代理人: | 程霏 |
| 地址: | 244000 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 帶有 分層 推桿 機構 半導體 制品 排出 裝置 | ||
1.一種帶有分層式推桿機構的半導體制品排出裝置,其特征是包括推桿(2)、分離模具(3)和下料軌道(5),所述推桿(2)排成兩排,相鄰兩個推桿(2)在垂直方向上有高度差;所述分離模具(3)包括由驅動裝置驅動的凸起柱(8)和下壓蓋板,所述凸起柱(8)在水平方向與半導體制品相適配,相鄰兩個凸起柱(8)在垂直方向上有高度差;所述下料軌道(5)與半導體制品相適配,相鄰下料軌道(5)在垂直方向上有高度差。
2.根據權利要求1所述的一種帶有分層式推桿機構的半導體制品排出裝置,其特征是所述下料軌道(5)還配有軌道蓋板(6),所述下料軌道(5)和軌道蓋板(6)組成的形腔與半導體制品相適配。
3.根據權利要求1或2所述的一種帶有分層式推桿機構的半導體制品排出裝置,其特征是相鄰兩個推桿(2)垂直方向上的高度差、分離模具(3)中相鄰兩個凸起柱(8)垂直方向上的高度差和相鄰兩個下料軌道(5)和軌道蓋板(6)組成的形腔垂直方向上的高度差,三者高度差相匹配。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





