[實用新型]老化板有效
| 申請號： | 201420711767.0 | 申請日： | 2014-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN204241589U | 公開（公告）日： | 2015-04-01 |
| 發明（設計）人： | 邵玲玲;辛軍啟 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 老化 | ||
1.一種老化板，其特征在于，包括：板體和多個適配板，所述適配板包括一面以及與所述一面相對的另一面，所述一面設置有多個第一探針，所述適配板通過所述多個第一探針與所述板體連接，所述另一面上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配。
2.如權利要求1所述的老化板，其特征在于，所述多組第二探針呈回字形分布于所述適配板上。
3.如權利要求1所述的老化板，其特征在于，所述適配板上設置有兩組所述第二探針，分別為第一組第二探針和第二組第二探針。
4.如權利要求3所述的老化板，其特征在于，所述適配板還設置有多個多端探針插槽，所述多個多端探針插槽分為兩組，分別為第一組多端探針插槽和第二組多端探針插槽。
5.如權利要求4所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽呈回字形，且環繞在所述第二組第二探針外側。
6.如權利要求5所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽位于靠近所述第二組第二探針一側，所述第二組多端探針插槽位于背離所述第二組第二探針一側。
7.如權利要求6所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽的個數與所述第二組第二探針的個數相等。
8.如權利要求7所述的老化板，其特征在于，每根所述第二組第二探針與相臨的第一組多端探針插槽連接。
9.如權利要求4所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽選擇性連接。
10.如權利要求9所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽通過跳線選擇性連接。
11.如權利要求4所述的老化板，其特征在于，所述多端探針插槽為五端探針插槽或者三端探針插槽。
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