[實用新型]老化板

有效

• 申請號: 201420711767.0
• 申請日: 2014-11-24
• 公開（公告）號: CN204241589U
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發明（設計）人: 邵玲玲;辛軍啟
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/073
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及集成電路制造設備技術領域，尤其是一種老化板。

背景技術

為了達到滿意的合格率，幾乎所有的產品在出廠前都要進行老化測試。與其他產品一樣，半導體器件隨時都有可能因為各種原因而出現故障，老化就是籍由讓半導體器件在給定的超負荷狀態下工作而使其缺陷在較短的時間內出現，避免再使用早期發生故障。

老化之后的器件基本上要求100％消除在這段時間內所產生的故障。

老化源于半導體器件的使用壽命曲線，其主要故障較多地出現在其壽命開始十分之一階段和最后十分之一階段。老化就是加快器件在其壽命前10％部分的過程，迫使早期故障盡可能在較短的時間內出現。

由于器件制造商對所生產器件的制程更清楚，因此，器件老化更多的是在器件廠家方完成，廠家需要面對巨量的器件測試，因此，在老化的時候，為了提高產品的產量，最好是能夠同時對盡可能多的器件做老化。為了滿足這一要求，可把多個器件裝在一個大的印刷電路板上進行老化，這個電路板通常被稱為老化板。

被測樣品與所述老化板連接，所述老化板與老化機臺連接，從而使得被測樣品與所述老化機臺連接，對被測樣品進行可靠性評估。在現有技術中，被測樣品的一種封裝類型對應一種老化板，根據不同的封裝類型制作不同的老化板，若被測樣品不能被封裝成現有的老化板所支持的封裝類型，只能重新制作新的老化板，否則將不能進行老化測試。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種老化板，以解決現有老化板不能通用的問題。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種老化板，包括：板體和多個適配板，所述適配板包括一面以及與所述一面相對的另一面，所述一面設置有多個第一探針，所述適配板通過所述多個第一探針與所述板體連接，所述另一面上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配。

優選的，在上述的老化板中，所述多組第二探針呈回字形分布于所述適配板上。

優選的，在上述的老化板中，所述適配板上設置有兩組所述第二探針，分別為第一組第二探針和第二組第二探針。

優選的，在上述的老化板中，所述適配板還設置有多個多端探針插槽，所述多個多端探針插槽分為兩組，分別為第一組多端探針插槽和第二組多端探針插槽。

優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽呈回字形，且環繞在所述第二組第二探針外側。

優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽位于靠近所述第二組第二探針一側，所述第二組多端探針插槽位于背離所述第二組第二探針一側。

優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽的個數與所述第二組第二探針的個數相等。

優選的，在上述的老化板中，每根所述第二組第二探針與相臨的第一組多端探針插槽連接。

優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽選擇性連接。

優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽通過跳線選擇性連接。

優選的，在上述的老化板中，所述多端探針插槽為五端探針插槽或者三端探針插槽。

在本實用新型提供的老化板中，所述適配板上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配，從而可以實現不同的封裝類型的被測樣品共用一塊老化板，實現老化板的通用，并且可以快速的從一種封裝類型的被測樣品轉換成另一種封裝類型的被測樣品。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中老化板的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例中適配板的剖視圖；

圖3為本實用新型實施例中適配板的俯視示意圖；

圖4為本實用新型實施例中適配板的第二組第二探針與兩個五端探針插槽的連接放大示意圖；

圖5為圖4中兩個五端探針插槽的放大結構示意圖；

圖6為本實用新型實施例中適配板的第二組第二探針中的一根探針接A端的放大結構示意圖；

圖中：101-板體；102-適配板；103-第一探針；104-第二探針；105-第一組第二探針；106-第二組第二探針；107-五端探針插槽。

具體實施方式

下面將結合示意圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細的描述。根據下列描述并結合權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。