[實用新型]多頂針機構有效
| 申請號: | 201420698875.9 | 申請日: | 2014-11-19 |
| 公開(公告)號: | CN204204815U | 公開(公告)日: | 2015-03-11 |
| 發明(設計)人: | 李健;林麗雪;羅誠;賀云波;高云峰 | 申請(專利權)人: | 大族激光科技產業集團股份有限公司;深圳市大族光電設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
| 地址: | 518055 廣東省深圳市南*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 頂針 機構 | ||
1.一種多頂針機構,其特征在于,包括:
頂針組件,包括頂針座及多根頂針,所述多根頂針間隔設于所述頂針座的一端;
頂針帽,包括筒體及設于所述筒體一端的平板,所述平板上設有多個通孔,所述通孔的數目大于或等于所述頂針的數目,所述筒體罩設于所述多根頂針上,每一頂針有與其對應的一通孔,以使每一頂針穿過與其對應的通孔;及
直線運動機構,設于所述頂針座遠離所述多根頂針的一端,用于驅動所述頂針座及所述多根頂針做往復直線運動。
2.根據權利要求1所述的多頂針機構,其特征在于,所述多根頂針分布于所述頂針座的邊緣處。
3.根據權利要求1所述的多頂針機構,其特征在于,所述頂針組件還包括鎖緊連接件及與所述鎖緊連接件匹配的鎖緊塊;
所述鎖緊連接件具有相對的連接表面及安裝表面,所述安裝表面上設有鎖緊孔,且所述安裝表面設有鎖緊縫隙,所述鎖緊縫隙與所述鎖緊孔連通,并向所述鎖緊連接件的外周壁延伸貫穿所述鎖緊連接件的外周壁,所述鎖緊縫隙的數目與所述頂針的數目相同;
所述連接表面設于所述頂針座遠離所述直線運動機構的一端,每一頂針的一端插設于每一鎖緊縫隙內,
所述鎖緊塊套設于所述鎖緊連接件的外周壁上。
4.根據權利要求3所述的多頂針機構,其特征在于,所述多個鎖緊縫隙將所述安裝表面劃分為均等的多份。
5.根據權利要求3所述的多頂針機構,其特征在于,所述鎖緊連接件的外側壁沿徑向內陷形成環形卡槽,并將所述鎖緊連接件劃分為兩部分,分別第一鎖緊部及第二鎖緊部,所述第一鎖緊部靠近所述頂針帽;
所述第一鎖緊部呈圓臺形,且所述第一鎖緊部靠近所述頂針帽的一端的半徑較小,所述第二鎖緊部呈圓柱形,所述第二鎖緊部的半徑等于或大于所述第一鎖緊部遠離所述頂針帽的一端的半徑。
6.根據權利要求5所述的多頂針機構,其特征在于,所述鎖緊塊靠近所述頂針帽的一端具有限位孔,所述限位孔的內徑大于所述第一鎖緊部靠近所述頂針帽的一端的半徑,小于所述第一鎖緊部遠離所述頂針帽的一端的半徑。
7.根據權利要求5所述的多頂針機構,其特征在于,所述鎖緊孔的一端位于所述環形卡槽與所述連接表面之間,所述鎖緊縫隙的一端位于所述環形卡槽與所述連接表面之間,且位于所述環形卡槽及所述第二鎖緊部的部分鎖緊縫隙之間的間隔大于位于所述第一鎖緊部的部分鎖緊縫隙之間的間隔。
8.根據權利要求1所述的多頂針機構,其特征在于,還包括頂針帽固定座,所述頂針帽固定座的兩端均為開口結構;
所述頂針帽與所述頂針帽固定座可拆卸連接,所述頂針組件容置于所述筒體內,所述直線運動機構穿設于所述頂針帽固定座內。
9.根據權利要求8所述的多頂針機構,其特征在于,還包括底座;
所述頂針帽固定座與所述底座可拆卸連接,所述直線運動機構遠離所述頂針組件的一端設于所述底座上。
10.根據權利要求1所述的多頂針機構,其特征在于,所述直線運動機構為微型行程單元。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





