[實用新型]超聲波楔形接合構造有效
| 申請號: | 201420696919.4 | 申請日: | 2014-11-19 |
| 公開(公告)號: | CN204204803U | 公開(公告)日: | 2015-03-11 |
| 發明(設計)人: | 加治敏晴;多田一夫 | 申請(專利權)人: | 康奈可關精株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 超聲波 楔形 接合 構造 | ||
1.一種超聲波楔形接合構造,其是這樣形成的:通過將下層接合線超聲波接合在被接合構件上而形成下層超聲波接合部,并且通過將上層接合線重疊在該下層超聲波接合部的上側并進行超聲波接合而形成上層超聲波接合部,其特征在于,
在所述上層超聲波接合部的接合線配線方向下游側形成有將上層接合線切斷而成的切斷部,并且,在該切斷部的下方設置有用于自下側支承切斷部的切斷用支承部。
2.根據權利要求1所述的超聲波楔形接合構造,其特征在于,
所述切斷用支承部構成以在所述被接合構件上與多層地形成有所述下層超聲波接合部和上層超聲波接合部的位置分開的方式設置的切割用接合點,
所述上層接合線在自所述上層超聲波接合部向接合線配線方向下游側延伸的延長部上形成有與所述切割用接合點相對應的切斷用超聲波接合部,并在該切斷用超聲波接合部的靠接合線配線方向下游側的端部附近形成有所述切斷部。
3.根據權利要求1所述的超聲波楔形接合構造,其特征在于,
所述切斷用支承部為切斷用超出端部,該切斷用超出端部是通過使所述下層超聲波接合部長于所述上層超聲波接合部而使所述下層超聲波接合部的靠接合線配線方向下游側的端部超出所述上層超聲波接合部的靠接合線配線方向下游側的端部而形成的。
4.根據權利要求3所述的超聲波楔形接合構造,其特征在于,
所述下層超聲波接合部和上層超聲波接合部設于接合線配線方向上的至少兩處位置,
在接合開始位置處,通過使所述下層超聲波接合部長于所述上層超聲波接合部、并使所述下層超聲波接合部的至少靠接合線配線方向下游側的端部超出所述上層超聲波接合部的至少靠接合線配線方向下游側的端部,從而在所述下層超聲波接合部的至少靠接合線配線方向下游側的端部設置能夠防止上層接合線與下層接合線相干涉的開始部超出端部。
5.根據權利要求3或權利要求4所述的超聲波楔形接合構造,其特征在于,
將所述下層超聲波接合部和上層超聲波接合部設于接合線配線方向上的至少3處以上的位置,
在接合中間位置處,通過使所述下層超聲波接合部長于所述上層超聲波接合部并使所述下層超聲波接合部的至少一個端部超出所述上層超聲波接合部的位于與所述下層超聲波接合部的至少一個端部相同的一側的端部,從而在所述下層超聲波接合部的至少一個端部上設置能夠防止上層接合線與下層接合線相干涉的中間部超出端部。
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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