[實用新型]用于掩膜版外觀檢查的夾具

有效

• 申請號: 201420684942.1
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN204209590U
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 杜武兵;林偉;黃國勇
• 申請（專利權）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G03F1/84
• 代理公司: 深圳市維邦知識產權事務所 44269
• 代理人: 黃莉

技術領域

本實用新型涉及掩膜版制造技術領域，尤其涉及一種用于掩膜版外觀檢查的夾具。

背景技術

隨著顯示平板的需求日益強勁和價格連續下降，對顯示平板所需的掩膜版的制造也相應提出更高的要求，尤其是大尺寸掩膜版的加工能力，而大尺寸掩膜版在曝光、化學制程完成后需進行外觀檢查。傳統的外觀檢查是以人工手持進行：帶上無塵手套，雙手握住光罩兩端，對照強光燈檢查膜面外觀，檢查非膜面時手動翻轉來檢查。

然而，現有的檢查方式存在以下缺陷:（1）大尺寸掩膜版都很重，手持檢查的勞動強度很大，甚至無法進行；（2）手工拿版容易產生污染，增加外觀缺陷檢查的難度；（3）手持掩膜版翻轉時，易導致滑落，出現光罩報廢。

實用新型內容

本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種輕松方便、安全高效的用于掩膜版外觀檢查的夾具。

為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提出了一種用于掩膜版外觀檢查的夾具，包括支架、可旋轉地設于支架上的框架及固定組件，掩膜版固定于所述框架上；

其中，所述支架兩端設有軸孔，所述框架兩端凸設有匹配容置于所述軸孔中的轉軸，固定組件包括旋轉定位盤和固定銷，所述旋轉定位盤固設于轉軸末端并隨轉軸同步旋轉，旋轉定位盤的周緣設有第一定位孔，固定銷穿過所述第一定位孔并抵于所述支架上以將所述框架固定于預定角度。

進一步地，所述第一定位孔為多個等距間隔分布的分度孔，所述固定銷為插銷，所述支架對應于的旋轉定位盤的位置設有一個第二定位孔或者設有多個與所述分度孔一一對應的第二定位孔，所述插銷穿過所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。

進一步地，所述第一定位孔為螺孔，所述固定銷為匹配螺合于所述螺孔內且末端抵于所述支架上的螺釘。

進一步地，框架上設有與所述轉軸平行并可固定于預定位置以卡持掩膜版的滑桿。

進一步地，滑桿的側壁上開設有用以卡持掩膜版一側邊的第一卡槽，所述框架與所述第一卡槽相對的內壁上開設有用以卡持掩膜版另一側邊的第二卡槽。

進一步地，所述滑桿兩端設有與所述框架的邊框匹配的叉架，叉架上設有第三定位孔，定位銷穿過第三定位孔并抵于所述邊框上以將所述滑桿固定于預定位置。

進一步地，所述邊框上對應設有多個等距間隔分布的第四定位孔，所述定位銷穿過所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔為螺孔，所述定位銷為匹配螺合于所述螺孔內且末端抵于所述邊框的螺栓。

進一步地，所述轉軸和軸孔之間設有軸承。

進一步地，所述支架上設有照明燈具。

進一步地，所述支架的四個角部下方分別設有輪架和輪子。

本實用新型實施例的用于掩膜版外觀檢查的夾具的有益效果是：通過在支架和框架支架設置固定組件，以將框架固定于預定角度，從而再無需人工手持掩膜版，大大降低了勞動強度，具有輕松方便、安全高效的效果；此外，通過在框架上平行設置可固定于預定位置以卡持掩膜版的滑桿，從而適用于不同大小的掩膜版，具有適應性強的效果。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的用于掩膜版外觀檢查的夾具的一狀態示意圖。

圖2是圖1所示的用于掩膜版外觀檢查的夾具的另一狀態示意圖。

圖3是圖2中A位置的放大示意圖。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互結合，下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。

請參考圖1至圖3，本實用新型實施例提供了一種用于掩膜版100外觀檢查的夾具，所述夾具包括支架10、可旋轉地設于支架10上的框架20及固定組件30，其中，掩膜版100固定于所述框架20上。

所述支架10兩端設有軸孔，所述框架20兩端凸設有匹配容置于所述軸孔中的轉軸，固定組件30包括旋轉定位盤31和固定銷32，所述旋轉定位盤31固設于轉軸末端并隨轉軸同步旋轉，旋轉定位盤31的周緣設有第一定位孔310，固定銷32穿過所述第一定位孔310并抵于所述支架10上以將所述框架20固定于預定角度。優選地，所述轉軸和軸孔之間設有軸承，從而減小了摩擦力，轉動更靈活輕便。

作為一種實施方式，所述第一定位孔310為多個等距間隔分布的分度孔，所述固定銷32為插銷，所述支架10對應于的旋轉定位盤31的位置設有一個第二定位孔或者設有多個與所述分度孔一一對應的第二定位孔，所述插銷穿過所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。