[實(shí)用新型]用于掩膜版外觀檢查的夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420684942.1
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN204209590U
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜武兵;林偉;黃國勇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G03F1/84
• 代理公司: 深圳市維邦知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44269
• 代理人: 黃莉

1.?一種用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述夾具包括支架、可旋轉(zhuǎn)地設(shè)于支架上的框架及固定組件，掩膜版固定于所述框架上；

其中，所述支架兩端設(shè)有軸孔，所述框架兩端凸設(shè)有匹配容置于所述軸孔中的轉(zhuǎn)軸，固定組件包括旋轉(zhuǎn)定位盤和固定銷，所述旋轉(zhuǎn)定位盤固設(shè)于轉(zhuǎn)軸末端并隨轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)定位盤的周緣設(shè)有第一定位孔，固定銷穿過所述第一定位孔并抵于所述支架上以將所述框架固定于預(yù)定角度。

2.?如權(quán)利要求1所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述第一定位孔為多個等距間隔分布的分度孔，所述固定銷為插銷，所述支架對應(yīng)于的旋轉(zhuǎn)定位盤的位置設(shè)有一個第二定位孔或者設(shè)有多個與所述分度孔一一對應(yīng)的第二定位孔，所述插銷穿過所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。

3.?如權(quán)利要求2所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述第一定位孔為螺孔，所述固定銷為匹配螺合于所述螺孔內(nèi)且末端抵于所述支架上的螺釘。

4.?如權(quán)利要求1所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：框架上設(shè)有與所述轉(zhuǎn)軸平行并可固定于預(yù)定位置以卡持掩膜版的滑桿。

5.?如權(quán)利要求4所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：滑桿的側(cè)壁上開設(shè)有用以卡持掩膜版一側(cè)邊的第一卡槽，所述框架與所述第一卡槽相對的內(nèi)壁上開設(shè)有用以卡持掩膜版另一側(cè)邊的第二卡槽。

6.?如權(quán)利要求4所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述滑桿兩端設(shè)有與所述框架的邊框匹配的叉架，叉架上設(shè)有第三定位孔，定位銷穿過第三定位孔并抵于所述邊框上以將所述滑桿固定于預(yù)定位置。

7.?如權(quán)利要求6所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述邊框上對應(yīng)設(shè)有多個等距間隔分布的第四定位孔，所述定位銷穿過所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔為螺孔，所述定位銷為匹配螺合于所述螺孔內(nèi)且末端抵于所述邊框的螺栓。

8.?如權(quán)利要求1所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸和軸孔之間設(shè)有軸承。

9.?如權(quán)利要求1所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述支架上設(shè)有照明燈具。

10.?如權(quán)利要求1至9中任一項所述的用于掩膜版外觀檢查的夾具，其特征在于：所述支架的四個角部下方分別設(shè)有輪架和輪子。