[實用新型]一種分光膜及分束鏡

有效

• 申請號: 201420684501.1
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN204166153U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 孟繁有
• 申請（專利權）人: 孟繁有
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B27/10;B32B9/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

技術領域

本實用新型涉及光學設備領域，特別是涉及一種分光膜。本實用新型還涉及一種分束鏡。

背景技術

光學薄膜是指由薄的分層介質構成，通過界面傳播光束的一類光介質材料。分光膜是光學薄膜的一種，是根據一定的要求和一定的方式把光束分成兩部分的薄膜。分光膜包括波長分光膜、光強分光膜和偏振分光膜等幾類。

光強分光膜是按照一定的光強比把光束分成反射光和透射光兩部分的薄膜。目前，在光學儀器中使用的光強分光膜，其分光波長范圍位于可見光波段。

隨著高精度光學設備的應用日益廣泛，光學儀器所涉及的光譜范圍逐漸由可見光波段延伸至近紅外波段。而光強分光膜的分光波長范圍位于可見光波段，分光波長范圍較窄，其分光波長范圍不涉及近紅外波段，從而限制了分光膜在光譜范圍涉及可見光到近紅外波段的光學儀器中的應用。

實用新型內容

本實用新型提供一種分光膜，可實現對可見光到近紅外波段光的分光。本實用新型還提供一種分束鏡。

本實用新型提供一種分光膜，所述分光膜為由第一高折射率材料Ti3O5膜層、第一低折射率材料Al2O3膜層、金屬材料Ag膜層、第二低折射率材料Al2O3膜層和第二高折射率材料Ti3O5膜層依次貼合而成的多層分光膜。

可選地，所述分光膜的膜系結構為：/α1Hβ1LγAgβ2Lα2H/；

式中：H表示光學厚度為λ/4的高折射率材料Ti3O5膜層，L表示光學厚度為λ/4的低折射率材料Al2O3膜層，Ag表示金屬材料Ag膜層，λ為中心波長，α1、β1、γ、β2和α2為光學厚度的比例系數。

可選地，α1為1.331，β1為0.7513，β2為0.3522，α2為0.327。

可選地，所述第一高折射率材料Ti3O5膜層的物理厚度為77nm，所述第一低折射率材料Al2O3膜層的物理厚度為63.73nm，所述金屬材料Ag膜層的物理厚度為11.01nm，所述第二低折射率材料Al2O3膜層的物理厚度為29.87nm，所述第二高折射率材料Ti3O5膜層的物理厚度為18.92nm。

本實用新型所提供的一種分光膜，為由第一高折射率材料Ti3O5膜層、第一低折射率材料Al2O3膜層、金屬材料Ag膜層、第二低折射率材料Al2O3膜層和第二高折射率材料Ti3O5膜層依次貼合而成的多層分光膜。金屬材料Ag膜層位于所述分光膜的中間層，第一低折射率材料Al2O3膜層和第一高折射率材料Ti3O5膜層依次疊加于金屬材料Ag膜層的一側，第一低折射率材料Al2O3膜層和第一高折射率材料Ti3O5膜層依次疊加在金屬材料Ag膜層的另一側。當入射光照射于所述分光膜時，發生反射和折射，形成反射光和透射光。由于金屬材料Ag膜層對可見光到近紅外波段光均具有較高的反射率，并通過高低折射率材料疊加形式實現膜層的折射率匹配，從而使所述分光膜對可見光到近紅外波段光均能形成反射光和透射光，所以可實現對可見光到近紅外波段光的分光。

本實用新型還提供一種分束鏡，包括入射鏡片、出射鏡片和夾于所述入射鏡片和所述出射鏡片之間的分光膜，所述分光膜為以上所述的分光膜。

可選地，所述入射鏡片和所述出射鏡片為直角棱鏡，所述分光膜夾于所述兩塊直角棱鏡的斜面之間。

可選地，所述直角棱鏡為45度等腰直角棱鏡。

可選地，所述入射鏡片和所述出射鏡片為同質的玻璃鏡片。

可選地，所述入射鏡片通過光膠技術與所述出射鏡片粘合。

可選地，所述第一高折射率材料Ti3O5膜層、所述第一低折射率材料Al2O3膜層、所述金屬材料Ag膜層、所述第二低折射率材料Al2O3膜層和所述第二高折射率材料Ti3O5膜層采用電子束蒸發依次蒸鍍于所述入射鏡片上。

本實用新型提供的一種分束鏡，包括入射鏡片、出射鏡片和夾于所述入射鏡片和所述出射鏡片之間的分光膜，所述分光膜為以上所述的分光膜。當入射光照射到入射鏡片，入射光經所述分光膜發生反射和折射，形成反射光和透射光。所述分光膜使分束鏡可對可見光到近紅外波段光實現分光。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的一種分光膜的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的一種分光膜經測試得到的透射光譜曲線；

圖3為本實用新型實施例所提供的一種分束鏡的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型提供一種分光膜，對可見光到近紅外波段光具有較好的分光效果。本實用新型還提供一種分束鏡。