[實用新型]一種分光膜及分束鏡

有效

• 申請號: 201420684501.1
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN204166153U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 孟繁有
• 申請（專利權）人: 孟繁有
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B27/10;B32B9/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種分光膜，其特征在于，所述分光膜為由第一高折射率材料Ti3O5膜層、第一低折射率材料Al2O3膜層、金屬材料Ag膜層、第二低折射率材料Al2O3膜層和第二高折射率材料Ti3O5膜層依次貼合而成的多層分光膜。

2.如權利要求1所述的分光膜，其特征在于，所述分光膜的膜系結構為：/α₁Hβ₁LγAgβ₂Lα₂H/；

式中：H表示光學厚度為λ/4的高折射率材料Ti3O5膜層，L表示光學厚度為λ/4的低折射率材料Al2O3膜層，Ag表示金屬材料Ag膜層，λ為中心波長，α₁、β₁、γ、β₂和α₂為光學厚度的比例系數。

3.如權利要求2所述的分光膜，其特征在于，α₁為1.331，β₁為0.7513，β₂為0.3522，α₂為0.327。

4.如權利要求1所述的分光膜，其特征在于，所述第一高折射率材料Ti3O5膜層的物理厚度為77nm，所述第一低折射率材料Al2O3膜層的物理厚度為63.73nm，所述金屬材料Ag膜層的物理厚度為11.01nm，所述第二低折射率材料Al2O3膜層的物理厚度為29.87nm，所述第二高折射率材料Ti3O5膜層的物理厚度為18.92nm。

5.一種分束鏡，其特征在于，包括入射鏡片、出射鏡片和夾于所述入射鏡片和所述出射鏡片之間的分光膜，所述分光膜為權利要求1至4任一項所述的分光膜。

6.如權利要求5所述的分束鏡，其特征在于，所述入射鏡片和所述出射鏡片為直角棱鏡，所述分光膜夾于所述兩塊直角棱鏡的斜面之間。

7.如權利要求6所述的分束鏡，其特征在于，所述直角棱鏡為45度等腰直角棱鏡。

8.如權利要求5所述的分束鏡，其特征在于，所述入射鏡片和所述出射鏡片為同質的玻璃鏡片。

9.如權利要求5所述的分束鏡，其特征在于，所述入射鏡片通過光膠技術與所述出射鏡片粘合。

10.如權利要求5所述的分束鏡，其特征在于，所述第一高折射率材料Ti3O5膜層、所述第一低折射率材料Al2O3膜層、所述金屬材料Ag膜層、所述第二低折射率材料Al2O3膜層和所述第二高折射率材料Ti3O5膜層采用電子束蒸發依次蒸鍍于所述入射鏡片上。