[實(shí)用新型]一種大型高真空抽氣系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420643026.3
• 申請(qǐng)日: 2014-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204224700U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 儲(chǔ)繼國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市摩爾真空技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 廣東國(guó)欣律師事務(wù)所 44221
• 代理人: 姜?jiǎng)倥?/td>

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空獲得技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種大型高真空抽氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的大型高真空抽氣系統(tǒng)的粗抽機(jī)組和前級(jí)泵機(jī)組普遍采用粗真空泵（例如旋片泵或滑閥泵）+羅茨泵機(jī)組抽氣，上述兩種泵都是高能耗泵，以大型鈦金鍍膜設(shè)備（3m³）為例，粗真空泵+羅茨泵的抽氣能耗高達(dá)15KW，約占鍍膜設(shè)備總抽氣能耗的60%~80%。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種顯著節(jié)省能耗的大型高真空抽氣系統(tǒng)。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種大型高真空抽氣系統(tǒng)，包括鍍膜室，所述鍍膜室分別與大型渦輪分子泵或大型擴(kuò)散泵連接，所述鍍膜室和所述渦輪分子泵或所述擴(kuò)散泵之間設(shè)有第一真空閥，所述渦輪分子泵或所述擴(kuò)散泵的排氣口經(jīng)第二真空閥與牽引分子泵連接，所述牽引分子泵的排氣口經(jīng)第三真空閥與前級(jí)泵連接，所述牽引分子泵還經(jīng)第四真空閥與所述鍍膜室連接；所述鍍膜室還經(jīng)第五真空閥與粗抽泵連接，所述鍍膜室還分別與真空規(guī)和放氣閥連接。

本實(shí)用新型提供的大型高真空抽氣系統(tǒng)具有如下優(yōu)點(diǎn)：

（1）采用大抽速牽引分子泵+小型前級(jí)泵，取代傳統(tǒng)抽氣系統(tǒng)的羅茨泵+粗真空泵，羅茨泵+粗抽泵的運(yùn)行時(shí)間由傳統(tǒng)抽氣工藝的全程運(yùn)行（幾十分鐘~幾十小時(shí)）降至僅幾分鐘，粗抽泵能耗節(jié)省80%以上。

（2）粗抽泵壓強(qiáng)提高，顯著降低粗抽泵的油蒸汽污染，提高真空產(chǎn)品質(zhì)量。

（3）前級(jí)泵抽氣能耗節(jié)省80%以上。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的大型鈦金鍍膜設(shè)備抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的大型真空爐抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

實(shí)施例一

如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種大型鈦金鍍膜設(shè)備的抽氣系統(tǒng)，包括鍍膜室11，鍍膜室11分別與大型渦輪分子泵13連接，鍍膜室11和渦輪分子泵13之間設(shè)有第一真空閥12，渦輪分子泵13的排氣口經(jīng)第二真空閥14與牽引分子泵15連接，牽引分子泵15的排氣口經(jīng)第三真空閥16與前級(jí)泵17連接，第三真空閥16關(guān)閉時(shí)，還同時(shí)對(duì)前級(jí)泵17注入大氣，牽引分子泵15的進(jìn)氣口還經(jīng)第四真空閥18與鍍膜室11連接。

進(jìn)一步地，鍍膜室11還經(jīng)第五真空閥110與粗抽泵19連接，第五真空閥110關(guān)閉時(shí)，還同時(shí)對(duì)粗抽泵19注入大氣，鍍膜室11還分別與真空規(guī)111、工作注氣閥112和放氣閥114連接，其中真空規(guī)111用于檢測(cè)鍍膜室11的真空度，注氣閥112與工作氣體源113連接，用于鍍膜時(shí)對(duì)鍍膜室11注入工作氣體，放氣閥114用于鍍膜結(jié)束后，向鍍膜室11注入大氣。

本實(shí)施例一的大型鈦金鍍膜設(shè)備的抽氣系統(tǒng)的抽氣工藝的具體操作步驟如下：

（1）待鍍工件裝架，關(guān)閉鍍膜室11和所有真空閥，所有真空泵處于停止?fàn)顟B(tài)；

（2）先后啟動(dòng)前級(jí)泵17，打開(kāi)第三真空閥16，啟動(dòng)牽引分子泵15，打開(kāi)第二真空閥14，啟動(dòng)渦輪分子泵13；

（3）牽引分子泵15和渦輪分子泵13啟動(dòng)完畢，然后，依次啟動(dòng)粗抽泵19，打開(kāi)第五真空閥110，粗抽泵19對(duì)鍍膜室11抽氣；

（4）鍍膜室11壓強(qiáng)從大氣壓抽至50?Pa后，依次關(guān)閉第五真空閥110、粗抽泵19、第二真空閥14和打開(kāi)第四真空閥18，牽引分子泵15對(duì)鍍膜室11抽氣；

（5）鍍膜室11壓強(qiáng)從50Pa降至1?Pa，依次關(guān)閉第四真空閥18、打開(kāi)第二真空閥14、打開(kāi)第一真空閥12，渦輪分子泵13對(duì)鍍膜室11抽氣，然后鍍膜室11開(kāi)始加熱烘烤，烘烤溫度達(dá)到設(shè)定要求后，進(jìn)入恒溫階段；

（6）鍍膜室11壓強(qiáng)降至約5×10^-2Pa時(shí)，開(kāi)始輝光放電清洗1~2min，然后關(guān)閉輝光放電和烘烤；

（7）鍍膜室11的真空度抽至所需值（約8×10-3Pa），打開(kāi)注氣閥112，鍍膜室11由工作氣體源113注入工作氣體，開(kāi)始鍍膜；