[實用新型]一種大型高真空抽氣系統

有效

• 申請號: 201420643026.3
• 申請日: 2014-11-02
• 公開（公告）號: CN204224700U
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 儲繼國
• 申請（專利權）人: 深圳市摩爾真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221
• 代理人: 姜勝攀

技術領域

本實用新型屬于真空獲得技術領域，尤其涉及一種大型高真空抽氣系統。

背景技術

傳統的大型高真空抽氣系統的粗抽機組和前級泵機組普遍采用粗真空泵（例如旋片泵或滑閥泵）+羅茨泵機組抽氣，上述兩種泵都是高能耗泵，以大型鈦金鍍膜設備（3m³）為例，粗真空泵+羅茨泵的抽氣能耗高達15KW，約占鍍膜設備總抽氣能耗的60%~80%。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種顯著節省能耗的大型高真空抽氣系統。

本實用新型是這樣實現的，一種大型高真空抽氣系統，包括鍍膜室，所述鍍膜室分別與大型渦輪分子泵或大型擴散泵連接，所述鍍膜室和所述渦輪分子泵或所述擴散泵之間設有第一真空閥，所述渦輪分子泵或所述擴散泵的排氣口經第二真空閥與牽引分子泵連接，所述牽引分子泵的排氣口經第三真空閥與前級泵連接，所述牽引分子泵還經第四真空閥與所述鍍膜室連接；所述鍍膜室還經第五真空閥與粗抽泵連接，所述鍍膜室還分別與真空規和放氣閥連接。

本實用新型提供的大型高真空抽氣系統具有如下優點：

（1）采用大抽速牽引分子泵+小型前級泵，取代傳統抽氣系統的羅茨泵+粗真空泵，羅茨泵+粗抽泵的運行時間由傳統抽氣工藝的全程運行（幾十分鐘~幾十小時）降至僅幾分鐘，粗抽泵能耗節省80%以上。

（2）粗抽泵壓強提高，顯著降低粗抽泵的油蒸汽污染，提高真空產品質量。

（3）前級泵抽氣能耗節省80%以上。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型實施例一提供的大型鈦金鍍膜設備抽氣系統的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例二提供的大型真空爐抽氣系統的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

實施例一

如圖1所示，本實用新型實施例一提供的一種大型鈦金鍍膜設備的抽氣系統，包括鍍膜室11，鍍膜室11分別與大型渦輪分子泵13連接，鍍膜室11和渦輪分子泵13之間設有第一真空閥12，渦輪分子泵13的排氣口經第二真空閥14與牽引分子泵15連接，牽引分子泵15的排氣口經第三真空閥16與前級泵17連接，第三真空閥16關閉時，還同時對前級泵17注入大氣，牽引分子泵15的進氣口還經第四真空閥18與鍍膜室11連接。

進一步地，鍍膜室11還經第五真空閥110與粗抽泵19連接，第五真空閥110關閉時，還同時對粗抽泵19注入大氣，鍍膜室11還分別與真空規111、工作注氣閥112和放氣閥114連接，其中真空規111用于檢測鍍膜室11的真空度，注氣閥112與工作氣體源113連接，用于鍍膜時對鍍膜室11注入工作氣體，放氣閥114用于鍍膜結束后，向鍍膜室11注入大氣。

本實施例一的大型鈦金鍍膜設備的抽氣系統的抽氣工藝的具體操作步驟如下：

（1）待鍍工件裝架，關閉鍍膜室11和所有真空閥，所有真空泵處于停止狀態；

（2）先后啟動前級泵17，打開第三真空閥16，啟動牽引分子泵15，打開第二真空閥14，啟動渦輪分子泵13；

（3）牽引分子泵15和渦輪分子泵13啟動完畢，然后，依次啟動粗抽泵19，打開第五真空閥110，粗抽泵19對鍍膜室11抽氣；

（4）鍍膜室11壓強從大氣壓抽至50?Pa后，依次關閉第五真空閥110、粗抽泵19、第二真空閥14和打開第四真空閥18，牽引分子泵15對鍍膜室11抽氣；

（5）鍍膜室11壓強從50Pa降至1?Pa，依次關閉第四真空閥18、打開第二真空閥14、打開第一真空閥12，渦輪分子泵13對鍍膜室11抽氣，然后鍍膜室11開始加熱烘烤，烘烤溫度達到設定要求后，進入恒溫階段；

（6）鍍膜室11壓強降至約5×10^-2Pa時，開始輝光放電清洗1~2min，然后關閉輝光放電和烘烤；

（7）鍍膜室11的真空度抽至所需值（約8×10-3Pa），打開注氣閥112，鍍膜室11由工作氣體源113注入工作氣體，開始鍍膜；