[實用新型]一種大型高真空抽氣系統有效

申請號：	201420643026.3	申請日：	2014-11-02
公開（公告）號：	CN204224700U	公開（公告）日：	2015-03-25
發明（設計）人：	儲繼國	申請（專利權）人：	深圳市摩爾真空技術有限公司
主分類號：	C23C14/56	分類號：	C23C14/56
代理公司：	廣東國欣律師事務所 44221	代理人：	姜勝攀
地址：	518000 廣東***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種大型真空系統
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【權利要求書】：

1.?一種大型高真空抽氣系統，其特征在于：包括鍍膜室，所述鍍膜室分別與大型渦輪分子泵或大型擴散泵連接，所述鍍膜室和所述渦輪分子泵或所述擴散泵之間設有第一真空閥，所述渦輪分子泵或所述擴散泵的排氣口經第二真空閥與牽引分子泵連接，所述牽引分子泵的排氣口經第三真空閥與前級泵連接，所述牽引分子泵的進氣口還經第四真空閥與所述鍍膜室連接；所述鍍膜室還經第五真空閥與粗抽泵連接，所述鍍膜室還分別與真空規和放氣閥連接。

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