[實用新型]真空及漏率多功能校準裝置

有效

• 申請號: 201420627900.4
• 申請日: 2014-10-27
• 公開（公告）號: CN204142420U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 林瑞初;費渭南;劉金生;凌波;陳星;丁軍平;付香萍;葉紅梅;肖永超;楊曄;王立全;陳俊華
• 申請（專利權）人: 中國航天員科研訓練中心
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00;G01M3/02
• 代理公司: 北京權泰知識產權代理事務所(普通合伙) 11460
• 代理人: 王道川

技術領域

本實用新型涉及一種計量裝置，特別涉及一種真空及漏率多功能校準裝置。

背景技術

真空校準技術及漏率檢測技術在航天、表面、微電子等科研生產中具有重要意義，對于科研或企業生產線需要對真空規、真空漏孔、檢漏儀以及氣體微流量計校準測試。由于真空參數較多，所需的校準裝置種類也較多，如果針對不同的真空參數準備不同的校準裝置，無疑會增加建造校準裝置的總成本，同時也會占用校準實驗室較大的場地空間。而且現有真空校準裝置及漏率校準裝置中的多數存在功能單一化、校準范圍較窄、校準精度不高的問題，進而使得計量單位不得不建造更多的校準裝置來滿足實際校準需求。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型在于提供一種符合國家標準、操作方便、校準數據準確可靠且精度高、檢定效率高并具有較寬的校準范圍的真空及漏率多功能校準裝置。

為解決上述問題，本實用新型采用如下技術方案：真空及漏率多功能校準裝置，包括箱體和真空及漏率多功能校準系統，所述真空及漏率多功能校準系統設在所述箱體內；所述真空及漏率多功能校準系統包括檢測管路、真空校準分系統、漏率校準分系統、機械泵和分子泵；所述檢測管路包括導氣管、手動隔斷閥V₉、手動隔斷閥V₁₀、手動隔斷閥V₂、手動隔斷閥V₁、電磁隔斷閥V₁₅和電阻規G₅；所述手動隔斷閥V₉、所述手動隔斷閥V₁₀、所述手動隔斷閥V₂、所述手動隔斷閥V₁、所述分子泵、所述電磁隔斷閥V₁₅和所述電阻規G₅通過導氣管依次連接；所述機械泵依次經過電磁放氣閥V₁₇和擋油阱與位于所述手動隔斷閥V₉和所述電阻規G₅之間的所述檢測管路連接導通，所述漏率校準分系統與位于所述手動隔斷閥V₉和所述手動隔斷閥V₂之間的所述檢測管路連接導通，所述真空校準分系統與位于所述手動隔斷閥V₂和所述手動隔斷閥V₁之間的所述檢測管路連接導通，位于所述手動隔斷閥V₁和所述分子泵之間的所述檢測管路經過微調閥V₁₆與氮氣存儲裝置連接導通。

上述真空及漏率多功能校準裝置，所述真空校準分系統包括真空室、監測電離真空規G₁、標準電離真空規G₂和真空校準接入端，所述監測電離真空規G₁與所述真空室連接導通，所述標準電離真空規G₂與所述真空室連接導通，所述真空室與位于所述手動隔斷閥V₂和所述手動隔斷閥V₁之間的所述檢測管路連接導通，所述真空室通過手動隔斷閥V₃與所述真空校準接入端連接導通，位于所述真空校準接入端與所述手動隔斷閥V₃之間的導氣管通過導氣管經過手動隔斷閥V₄與位于所述手動隔斷閥V₁和所述分子泵之間的導氣管連接導通。

上述真空及漏率多功能校準裝置，所述漏率校準分系統包括被校漏孔L₁、參考漏孔L₂、參考漏孔L₃和四極質譜計M，所述被校漏孔L₁通過導氣管接入位于所述手動隔斷閥V₉與所述手動隔斷閥V₁₀之間的檢測管路，所述參考漏孔L₂經手動隔斷閥V₁₁與位于所述手動隔斷閥V₁₀和所述手動隔斷閥V₂之間的檢測管路連接導通，所述參考漏孔L₃經過手動隔斷閥V₁₂與位于所述手動隔斷閥V₁₀和所述手動隔斷閥V₂之間的檢測管路連接導通，所述四極質譜計M與位于所述手動隔斷閥V₁₀和所述手動隔斷閥V₂之間的檢測管路連接導通。

上述真空及漏率多功能校準裝置，所述真空校準接入端設有盲板。

上述真空及漏率多功能校準裝置，還包括微機、標準電離計和復合真空計，所述微機分別與所述標準電離計和所述復合真空計通信連接。