[實用新型]真空及漏率多功能校準裝置

有效

• 申請號: 201420627900.4
• 申請日: 2014-10-27
• 公開（公告）號: CN204142420U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 林瑞初;費渭南;劉金生;凌波;陳星;丁軍平;付香萍;葉紅梅;肖永超;楊曄;王立全;陳俊華
• 申請（專利權）人: 中國航天員科研訓練中心
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00;G01M3/02
• 代理公司: 北京權泰知識產權代理事務所(普通合伙) 11460
• 代理人: 王道川

1.真空及漏率多功能校準裝置，其特征在于，包括箱體(100)和真空及漏率多功能校準系統(200)，所述真空及漏率多功能校準系統(200)設在所述箱體(100)內；所述真空及漏率多功能校準系統(200)包括檢測管路、真空校準分系統(203)、漏率校準分系統(204)、機械泵(201)和分子泵(202)；所述檢測管路包括導氣管、手動隔斷閥V₉(207)、手動隔斷閥V₁₀(208)、手動隔斷閥V₂(222)、手動隔斷閥V₁(205)、電磁隔斷閥V₁₅(210)和電阻規G₅(224)；所述手動隔斷閥V₉(207)、所述手動隔斷閥V₁₀(208)、所述手動隔斷閥V₂(222)、所述手動隔斷閥V₁(205)、所述分子泵(202)、所述電磁隔斷閥V₁₅(210)和所述電阻規G₅(224)通過導氣管依次連接；所述機械泵(201)依次經過電磁放氣閥V₁₇(212)和擋油阱(213)與位于所述手動隔斷閥V₉(207)和所述電阻規G₅(224)之間的所述檢測管路連接導通，所述漏率校準分系統(204)與位于所述手動隔斷閥V₉(207)和所述手動隔斷閥V₂(222)之間的所述檢測管路連接導通，所述真空校準分系統(203)與位于所述手動隔斷閥V₂(222)和所述手動隔斷閥V₁(205)之間的所述檢測管路連接導通，位于所述手動隔斷閥V₁(205)和所述分子泵(202)之間的所述檢測管路經過微調閥V₁₆(211)與氮氣存儲裝置(226)連接導通。?

2.根據權利要求1所述的真空及漏率多功能校準裝置，其特征在于，所述真空校準分系統(203)包括真空室(216)、監測電離真空規G₁(214)、標準電離真空規G₂(215)和真空校準接入端(221)，所述監測電離真空規G₁(214)與所述真空室(216)連接導通，所述標準電離真空規G₂(215)與所述真空室(216)連接導通，所述真空室(216)與位于所述手動隔斷閥V₂(222)和所述手動隔斷閥V₁(205)之間的所述檢測管路連接導通，所述真空室(216)通過手動隔斷閥V₃(206)與所述真空校準接入端(221)連接導通，位于所述真空校準接入端與所述手動隔斷閥V₃(206)之間的導氣管通過導氣管經過手動隔斷閥V₄(225)與位于所述手動隔斷閥V₁(205)和所述分子泵(202)之間的導氣管連接導通。?

3.根據權利要求1所述的真空及漏率多功能校準裝置，其特征在于，所述漏率校準分系統(204)包括被校漏孔L₁(217)、參考漏孔L₂(218)、參考漏孔L₃(219)和四極質譜計M(220)，所述被校漏孔L₁(217)通過導氣管接入位于所述手動隔斷閥V₉(207)與所述手動隔斷閥V₁₀(208)之間的檢測管路，所述參考漏孔L₂(218)經手動隔斷閥V₁₁(209)與位于所述手動隔斷閥V₁₀(208)和所述手動隔斷閥V₂(222)之間的檢測管路連接導通，所述參考漏孔L₃(219)經過手動隔斷閥V₁₂(223)與位于所述手動隔斷閥V₁₀(208)和所述手動隔斷閥V₂(222)之間的檢測管路連接導通，所述四極質譜計M(220)與位于所述手動隔斷閥V₁₀(208)和所述手動隔斷閥V₂(222)之間的檢測管路連接導通。?

4.根據權利要求2所述的真空及漏率多功能校準裝置，其特征在于，所述真空校準接入端(221)設有盲板。?