[實用新型]一種MEMS麥克風(fēng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420614673.1 | 申請日： | 2014-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN204145748U | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 侯杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 山東共達(dá)電聲股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 261000 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 麥克風(fēng) | ||
1.一種MEMS麥克風(fēng)，包括線路板和外殼圍成的封裝結(jié)構(gòu)以及音孔，所述封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置有固定在所述線路板上的MEMS?DIE傳感器以及集成電路ASIC芯片，其特征在于：
所述音孔設(shè)置在外殼上；
所述MEMS?DIE傳感器內(nèi)腔的開口端朝向所述音孔的一側(cè)；
所述音孔與所述MEMS?DIE傳感器的內(nèi)腔開口端之間設(shè)置密封通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：
所述密封通道內(nèi)設(shè)置一隔離層；所述隔離層上設(shè)置至少一個通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：
所述音孔設(shè)置在所述外殼上端；
所述MEMS?DIE傳感器設(shè)置在所述音孔的正下方，且其內(nèi)腔的開口端朝上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：
所述音孔設(shè)置在所述外殼的側(cè)壁上；
所述MEMS?DIE傳感器的內(nèi)腔的開口端正對所述音孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：
所述隔離層為一薄板或者組合薄板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于；
所述MEMS?DIE傳感器焊接在所述線路板上，包括但不限于植焊球，或者印刷焊錫膏連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述隔離層上設(shè)置有多個呈規(guī)則分布的隔離孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述隔離層表面的邊沿位置通過膠與外殼內(nèi)部相連。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述隔離層由多個結(jié)構(gòu)相同的子隔離層組成。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，還包括：設(shè)置在所述線路板上的溝道，所述溝道的一端與MEMS麥克風(fēng)的后音腔相通，另一端設(shè)置在所述MEMS?DIE傳感器振膜的下方。
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