[實用新型]藍寶石襯底拋光裝置

有效

• 申請號: 201420597458.5
• 申請日: 2014-10-16
• 公開（公告）號: CN204118036U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 楊國峰;楊文娟
• 申請（專利權）人: 杭州世明光電有限公司
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種藍寶石襯底拋光裝置，它包括機架，在機架的下方設有用于固定藍寶石襯底的載物臺，其特征是：在機架的上方設有橫向往復機構，在橫向往復機構上設有豎直往復機構，在豎直往復機構的下端設有連接板，在連接板的下端通過彈性變形機構連接有拋光板。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光裝置，其特征是：所述連接板、拋光板與載物臺三者之間互相平行。

3.根據權利要求2所述的一種藍寶石襯底拋光裝置，其特征是：連接板與拋光板之間間隔均勻的陣列有多個彈性變形機構，各個彈性變形機構在受到相同壓力時變形量相同。

4.根據權利要求1或2或3所述的一種藍寶石襯底拋光裝置，其特征是：所述彈性變形機構為壓縮空氣管柱，所述壓縮空氣管柱由上管柱和下管柱配合而成，上管柱與下管柱內部連通、連接處密封且可相對滑動，在壓縮空氣管柱內部充斥有壓縮空氣。

5.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光裝置，其特征是：所述橫向往復機構由滑軌和橫向氣缸組成，豎直往復機構為豎直氣缸；豎直氣缸連接在滑軌上，與滑軌之間可相對滑動，且豎直氣缸的缸體與橫向氣缸的伸縮桿連接；所述連接板固定在豎直氣缸的伸縮桿上。

6.根據權利要求4所述的一種藍寶石襯底拋光裝置，其特征是：在拋光板的上表面豎直設有刻度尺，刻度尺穿過連接板并于連接板之間可相對滑動。