[實用新型]用于對疊加的硅片進行分離的裝置

有效

• 申請號: 201420589239.2
• 申請日: 2014-10-13
• 公開（公告）號: CN204118104U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 陳博;劉興翀;林洪峰
• 申請（專利權）人: 天威新能源控股有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 譚新民

1.用于對疊加的硅片進行分離的裝置，其特征在于，包括內部中空且兩端開口的隔離容器（7），所述隔離容器（7）內部相互對稱的側壁內凹形成凹槽（12），且凹槽（12）的兩端分別與隔離容器（7）對應的開口端連通，隔離容器（7）中設置有底盤（5），底盤（5）的側壁分別設置在對應的凹槽（12）中，且底盤（5）的側壁與凹槽（12）的側壁或者底面接觸，底盤（5）能夠沿著凹槽（12）進行鉛垂方向的移動，底盤（5）上安裝有重力傳感器（4），重力傳感器（4）的頂端與底盤（5）的頂端設置在同一平面中，隔離容器（7）的正上方設置有分離導帶（11），且分離導帶（11）的底端與隔離容器（7）的頂端之間的距離小于一塊待分離的硅片的厚度，隔離容器（7）的側壁設置有傳送導出導帶（8），傳送導出導帶（8）靠近隔離容器（7）中設置有凹槽（12）的側壁，隔離容器（7）靠近傳送導出導帶（8）的側壁頂端內凹形成導出槽（9），且導出槽（9）與凹槽（12）連通，導出槽（9）的寬度大于凹槽（12）的寬度，導出槽（9）的深度小于一塊待分離的硅片的厚度，且傳送導出導帶（8）的頂端與導出槽（9）的底端設置在同一平面中，底盤（5）下方設置有上升裝置，上升裝置的頂端與底盤（5）底端中心固定，且上升裝置能夠推動底盤（5）在鉛垂方向進行移動。

2.根據權利要求1所述的用于對疊加的硅片進行分離的裝置，其特征在于，所述上升裝置包括支撐柱（10），支撐柱（10）的底端固定有底座（17），支撐柱（10）的頂端與底盤（5）底端中心接觸，支撐柱（10）的外壁上套合有彈簧（16），彈簧（16）的兩端分別與底座（17）和底盤（5）底端中心接觸，彈簧（16）能夠推動底盤（5）在鉛垂方向進行移動，所述重力傳感器（4）連接有控制箱（13），且分離導帶（11）和傳送導出導帶（8）均與控制箱（13）連接。

3.根據權利要求1所述的用于對疊加的硅片進行分離的裝置，其特征在于，所述上升裝置包括液壓缸（2）以及設置在液壓缸（2）中的活塞桿（3），活塞桿（3）的頂端穿過液壓缸（2）的頂端與底盤（5）底端中心固定，液壓缸（2）連接有液壓泵（14），液壓泵（14）連接有液壓池（1）和控制箱（13），且重力傳感器（4）、分離導帶（11）和傳送導出導帶（8）均與控制箱（13）連接。

4.根據權利要求2或3所述的用于對疊加的硅片進行分離的裝置，其特征在于，所述分離導帶（11）和傳送導出導帶（8）均連接有支架（15），支架（15）與地面固定。