[實用新型]一種滾輪套筒及應用該滾輪套筒的濕法刻蝕機

有效

• 申請號: 201420588853.7
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN204167274U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 鮑洪亮;王利國;戴德鵬;劉屹;郭輝
• 申請（專利權）人: 晶澳（揚州）太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 李海波

1.一種滾輪套筒，其特征在于：所述的滾輪套筒(1)包括圓筒形套筒主體(101)，該圓筒形套筒主體(101)的中部位置設有定位孔(1a)，圓筒形套筒主體(101)的外周面上設有左凸臺(102)和右凸臺(103)，所述左凸臺(102)和右凸臺(103)均具有與所述圓筒形套筒主體(101)共軸的圓環形橫截面，并且，所述左凸臺(102)和右凸臺(103)的外徑相等、軸向寬度相等，左凸臺(102)和右凸臺(103)的外側端面分別與所述圓筒形套筒主體(101)的兩端面平齊。

2.根據權利要求1所述的滾輪套筒，其特征在于：所述的滾輪套筒由PTFE材料一體成型。

3.根據權利要求1或2所述的滾輪套筒，其特征在于：所述左凸臺(102)和右凸臺(103)的軸向寬度與所述圓筒形套筒主體(101)的軸向寬度之比為1:15～1:17。

4.根據權利要求3所述的滾輪套筒，其特征在于：所述圓筒形套筒主體(101)的內徑尺寸為24mm、厚度為2mm、軸向寬度為75.2mm，所述左凸臺(102)和右凸臺(103)的外徑尺寸為46.86mm、軸向寬度為4.6mm。

5.一種應用權利要求1至4任意一項所述滾輪套筒的濕法刻蝕機，其特征在于：所述的濕法刻蝕機設有相互平行設置的上滾軸(2)和下滾軸(3)，所述上滾軸(2)套裝有多個權利要求1至4任意一項所述的滾輪套筒(1)，所述滾輪套筒(1)通過穿入所述定位孔(1a)的定位銷(4)固定在上滾軸(2)上，各個滾輪套筒(1)在上滾軸(2)上相分離均勻布置，所述左凸臺(102)和右凸臺(103)的外周面與下滾軸(3)的外周面之間留有用于硅片通過的間隙。