[實用新型]一種滾輪套筒及應用該滾輪套筒的濕法刻蝕機

有效

• 申請號: 201420588853.7
• 申請日: 2014-10-11
• 公開（公告）號: CN204167274U
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 鮑洪亮;王利國;戴德鵬;劉屹;郭輝
• 申請（專利權）人: 晶澳（揚州）太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104
• 代理人: 李海波

技術領域

本實用新型涉及一種滾輪套筒，本實用新型還涉及應用該滾輪套筒的濕法刻蝕機。

背景技術

在太陽能電池片生產工藝中，濕法刻蝕可以用來代替太陽能電池生產中通常使用的等離子刻蝕，將擴散后正面和背面的p-n結分開。在太陽能電池的生產工藝中，濕法刻蝕的背腐蝕效果的優劣決定了太陽能電池的腐蝕效果和清洗效果，且會對制程的管控造成嚴重的影響。

太陽能電池片的濕法刻蝕采用濕法刻蝕機實現，濕法刻蝕機設有相互平行設置的上滾軸和下滾軸，上滾軸套裝有多個滾輪套筒，滾輪套筒與下滾軸之間留有用于硅片通過的間隙，硅片放置在下滾軸上由下滾軸驅動傳輸，滾輪套筒用于壓住硅片，以防止硅片在傳輸過程中飄起。

現有的滾輪套筒由套筒主體和套裝在套筒主體上的膠圈組成，在使用過程中膠圈與硅片相接觸以壓住硅片，由于膠圈耐磨性能差、并且其與硅片是線接觸，使用過程中易污染硅片，同時由于質量較重會產生滾輪印等不良產品。同時在運行過程中由于膠圈易吸附污染物，不易被及時發現，出現劃痕等品質問題。

由于磨損產生的污染物在槽體里長時間運行工藝，會污染槽體潔凈度，造成批量品質異常，在運行過長中膠圈還回有脫落現象，造成大量堵片的異常。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種滾輪套筒，并提供一種應用該滾輪套筒的濕法刻蝕機。

解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案如下：

一種滾輪套筒，其特征在于：所述的滾輪套筒包括圓筒形套筒主體，該圓筒形套筒主體的中部位置設有定位孔，圓筒形套筒主體的外周面上設有左凸臺和右凸臺，所述左凸臺和右凸臺均具有與所述圓筒形套筒主體共軸的圓環形橫截面，并且，所述左凸臺和右凸臺的外徑相等、軸向寬度相等，左凸臺和右凸臺的外側端面分別與所述圓筒形套筒主體的兩端面平齊。

作為本實用新型的優選方式，所述的滾輪套筒由PTFE材料一體成型。

作為本實用新型的優選方式，所述左凸臺和右凸臺的軸向寬度與所述圓筒形套筒主體的軸向寬度之比為1:15～1:17。

作為本實用新型推薦的優選實施方式，所述圓筒形套筒主體的內徑尺寸為24mm、厚度為2mm、軸向寬度為75.2mm，所述左凸臺和右凸臺的外徑尺寸為46.86mm、軸向寬度為4.6mm。

一種應用上述滾輪套筒的濕法刻蝕機，其特征在于：所述的濕法刻蝕機設有相互平行設置的上滾軸和下滾軸，所述上滾軸套裝有多個上述滾輪套筒，所述滾輪套筒通過穿入所述定位孔的定位銷固定在上滾軸上，各個滾輪套筒在上滾軸上相分離均勻布置，所述左凸臺和右凸臺的外周面與下滾軸的外周面之間留有用于硅片通過的間隙。

與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：

第一，本實用新型的滾輪套筒設有左凸臺和右凸臺，其安裝在濕法刻蝕機的上滾軸時，左凸臺和右凸臺與硅片面接觸，大大降低了滾輪套筒與硅片因滾動摩擦而造成的磨損，從而在長期運行過程中減少對濕法刻蝕機槽體的污染，降低產生滾輪印現象的可能性，并減少對硅片的損傷、改善硅片的碎片率，避免在刻蝕制程中由于設備結構因素引起的硅片外觀品質缺陷嚴重影響品質指標及設備的使用性能；

第二，本實用新型的滾輪套筒由PTFE材料一體成型，具有較強的耐磨性和抗酸堿性，能夠減少對濕法刻蝕機槽體的污染；

第三，本實用新型的滾輪套筒采用優選的尺寸，其質量能夠控制在38g以下，能夠進一步降低產生滾輪印現象的可能性，并進一步減少對硅片的損傷、改善硅片的碎片率。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明：

圖1為本實用新型的滾輪套筒的半剖結構示意圖；

圖2為本實用新型的濕法刻蝕機的結構示意圖。

具體實施方式

實施例一

如圖1所示，本實用新型實施例一的滾輪套筒1由PTFE材料一體成型，其包括圓筒形套筒主體101，該圓筒形套筒主體101的中部位置設有定位孔1a，圓筒形套筒主體101的外周面上設有左凸臺102和右凸臺103，左凸臺102和右凸臺103均具有與圓筒形套筒主體101共軸的圓環形橫截面，并且，左凸臺102和右凸臺103的外徑相等、軸向寬度相等，左凸臺102和右凸臺103的外側端面分別與圓筒形套筒主體101的兩端面平齊。其中，圓筒形套筒主體101的內徑尺寸為24mm、厚度為2mm、軸向寬度為75.2mm，左凸臺102和右凸臺103的外徑尺寸為46.86mm、軸向寬度為4.6mm。