[實用新型]一種用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置

有效

• 申請號: 201420584306.1
• 申請日: 2014-10-10
• 公開（公告）號: CN204144227U
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發明（設計）人: 王曉晨
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于，所述裝置至少包括：

圓環形支撐盤；

至少三根測量柱，設置在所述圓環形支撐盤表面，所述測量柱的長度為目標定位尺寸；

支撐梁，穿過圓環形支撐盤的中心且與所述圓環形支撐盤相連接；

手柄，安裝在所述支撐梁的下表面中心處。

2.根據權利要求1所述的用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于：所述測量柱通過定位銷固定在所述支撐盤表面。

3.根據權利要求1所述的用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于：所述測量柱均勻分布于所述圓環形支撐盤表面。

4.根據權利要求1所述的用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于：所述目標定位尺寸為99.5mm、100.1mm或者100.5mm。

5.根據權利要求1所述的用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于：所述支撐梁為一對互相垂直的十字結構。

6.根據權利要求1所述的用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于：通過所述裝置將氣體噴頭安裝在腔室的頂部，所述氣體噴頭為空心圓柱形噴頭，所述空心圓柱形噴頭上表面設置有與所述空心圓柱形噴頭連通的氣體供應管以及用于與腔室頂部固定連接的螺紋孔，所述空心圓柱形噴頭的下表面設置有多個用于將氣體噴入腔室的氣體噴射孔。

7.根據權利要求1所述的用于腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特征在于：安裝時，所述氣體噴頭置于所述圓環形支撐盤表面的測量柱之間，由測量柱卡住氣體噴頭。