[實(shí)用新型]一種晶體倒邊機(jī)的倒筒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420577827.4
• 申請(qǐng)日: 2014-10-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204144226U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戚林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 無(wú)錫中瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32259
• 代理人: 張玉平

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及到一種用于半導(dǎo)體行業(yè)的晶體倒邊機(jī)，尤其涉及到一種晶體倒邊機(jī)的倒筒。

背景技術(shù)

目前的晶體倒邊機(jī)的倒筒，其結(jié)構(gòu)通常包括：由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體通過(guò)安裝法蘭和相配合的固定連接件對(duì)合而成的倒筒體，所述上、下半球體的頂部分別設(shè)置有相互平行的夾持平臺(tái)，上、下半球體的端面即對(duì)合面上分別開(kāi)設(shè)有半圓形的環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中設(shè)置有密封圈。這種倒筒在安裝時(shí)，上、下半球體的定位非常困難，很容易錯(cuò)位，從而影響到安裝精度；此外，由于上、下半球體之間只安裝了一道密封圈，密封效果較差，在長(zhǎng)期使用過(guò)程中，經(jīng)常發(fā)生研磨液滲漏的現(xiàn)象，影響研磨效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種定位非常方便、并可提高密封效果的晶體倒邊機(jī)的倒筒。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：一種晶體倒邊機(jī)的倒筒，包括：由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體通過(guò)固定連接機(jī)構(gòu)對(duì)合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設(shè)置有相互平行的夾持平臺(tái)，上、下半球體的對(duì)合面上分別設(shè)置有相互錯(cuò)開(kāi)的外伸出凸臺(tái)和內(nèi)伸出凸臺(tái)，使得上、下球體的對(duì)合面均形成臺(tái)階狀，內(nèi)伸出凸臺(tái)的外側(cè)面和外伸出凸臺(tái)的內(nèi)側(cè)面為相互配合的導(dǎo)向錐面，內(nèi)伸出凸臺(tái)的頂面與上半球體的端面上分別開(kāi)設(shè)有半圓形的第一環(huán)形密封槽，該對(duì)第一環(huán)形密封槽中設(shè)置有第一密封圈，外伸出凸臺(tái)的頂面與下半球體的端面上分別開(kāi)設(shè)有半圓形的第二環(huán)形密封槽，該對(duì)第二環(huán)形密封槽中設(shè)置有第二密封圈。

作為一種優(yōu)選方案，在所述的晶體倒邊機(jī)的倒筒中，所述的固定連接機(jī)構(gòu)包括：分別設(shè)置在上、下半球體沿口的安裝法蘭，這一對(duì)安裝法蘭上開(kāi)設(shè)若干對(duì)相配合的固定通孔，這若干對(duì)固定通孔中分別穿設(shè)有固定螺栓，固定螺栓穿出固定通孔后擰設(shè)有固定螺母。

作為一種優(yōu)選方案，在所述的晶體倒邊機(jī)的倒筒中，所述的固定通孔沿周向均勻布置在相應(yīng)的安裝法蘭上。

作為一種優(yōu)選方案，在所述的晶體倒邊機(jī)的倒筒中，所述的夾持平臺(tái)上還分別設(shè)置有定位凸臺(tái)。

本實(shí)用新型的有益效果是：由于本實(shí)用新型在上、下半球體的對(duì)合面上設(shè)置了相互錯(cuò)開(kāi)的外伸出凸臺(tái)和內(nèi)伸出凸臺(tái)，并且，內(nèi)伸出凸臺(tái)的外側(cè)面和外伸出凸臺(tái)的內(nèi)側(cè)面為相互配合的導(dǎo)向錐面，使得上、下半球體的安裝定位非常方便，提高了上、下半球體的安裝精度；此外，由于在上、下半球體的對(duì)合面之間設(shè)置了不在同一平面上的第一密封圈和第二密封圈，而且，內(nèi)、外伸出凸臺(tái)的導(dǎo)向錐面也起到了密封作用，從而大大提高了密封效果。另外，設(shè)置在夾持平臺(tái)上的定位凸臺(tái)可使得整個(gè)倒筒的加裝定位更加精準(zhǔn)方便。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型所述晶體倒邊機(jī)的倒筒的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1至圖2中的附圖標(biāo)記為：1、上半球體，11、上夾持平臺(tái)，111、上定位凸臺(tái)，12、上安裝法蘭，13、外伸出凸臺(tái)，131、內(nèi)外面，2、下半球體，21、下夾持平臺(tái)，211、下定位凸臺(tái)，22、下安裝法蘭，23、內(nèi)伸出凸臺(tái)，231、外側(cè)面，3、第一密封圈，4、第二密封圈，5、固定螺栓，6、固定螺母。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，詳細(xì)描述本實(shí)用新型所述的一種晶體倒邊機(jī)的倒筒的具體實(shí)施方案：

如圖1所示，本實(shí)用新型所述的一種晶體倒邊機(jī)的倒筒，包括：由具有球形面內(nèi)腔的上、下半球體1和2通過(guò)作為固定連接機(jī)構(gòu)的上、下安裝法蘭12和22以及若干對(duì)固定螺栓5和固定螺母6對(duì)合而成的倒筒體，其中，上安裝法蘭12安裝在上半球體1的沿口，下安裝法蘭22安裝在下半球體2的沿口，上、下安裝法蘭12和22上沿著周向均勻開(kāi)設(shè)有若干對(duì)相互對(duì)應(yīng)貫通的固定通孔，每對(duì)固定通孔中穿設(shè)有固定螺栓5，固定螺栓5穿出固定通孔后，擰設(shè)有固定螺母6；所述上半球體1的頂部設(shè)置有上夾持平臺(tái)11，所述下半球體2的頂部設(shè)置有與上夾持平臺(tái)11相平行的下夾持平臺(tái)21，所述上、下半球體1和2的對(duì)合面上分別設(shè)置有相互錯(cuò)開(kāi)的外伸出凸臺(tái)13和內(nèi)伸出凸臺(tái)23，使得上、下球體1和2的對(duì)合面均形成臺(tái)階狀，內(nèi)伸出凸臺(tái)23的外側(cè)面231和外伸出凸臺(tái)13的內(nèi)側(cè)面131為相互配合的導(dǎo)向錐面，內(nèi)伸出凸臺(tái)23的頂面與上半球體1的端面上分別開(kāi)設(shè)有半圓形的第一環(huán)形密封槽，該對(duì)第一環(huán)形密封槽中設(shè)置有第一密封圈3，外伸出凸臺(tái)13的頂面與下半球體2的端面上分別開(kāi)設(shè)有半圓形的第二環(huán)形密封槽，該對(duì)第二環(huán)形密封槽中設(shè)置有第二密封圈4；在本實(shí)施例中，所述的上夾持平臺(tái)11上設(shè)置有上定位凸臺(tái)111，所述的下夾持平臺(tái)21上設(shè)置有下定位凸臺(tái)211。