[實用新型]一種晶體倒邊機的倒筒有效
| 申請號: | 201420577827.4 | 申請日: | 2014-10-08 |
| 公開(公告)號: | CN204144226U | 公開(公告)日: | 2015-02-04 |
| 發明(設計)人: | 戚林 | 申請(專利權)人: | 江蘇中科晶元信息材料有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 無錫中瑞知識產權代理有限公司 32259 | 代理人: | 張玉平 |
| 地址: | 215611 江蘇省蘇州市張家港市塘橋鎮(江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 晶體 倒邊機 | ||
1.一種晶體倒邊機的倒筒,包括:由具有球形面內腔的上、下半球體通過固定連接機構對合而成的倒筒體,上、下半球體的頂部分別設置有相互平行的夾持平臺,其特征在于:所述上、下半球體的對合面上分別設置有相互錯開的外伸出凸臺和內伸出凸臺,使得上、下球體的對合面均形成臺階狀,內伸出凸臺的外側面和外伸出凸臺的內側面為相互配合的導向錐面,內伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設有半圓形的第一環形密封槽,該對第一環形密封槽中設置有第一密封圈,外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設有半圓形的第二環形密封槽,該對第二環形密封槽中設置有第二密封圈。
2.如權利要求1所述的晶體倒邊機的倒筒,其特征在于,所述的固定連接機構包括:分別設置在上、下半球體沿口的安裝法蘭,這一對安裝法蘭上開設若干對相配合的固定通孔,這若干對固定通孔中分別穿設有固定螺栓,固定螺栓穿出固定通孔后擰設有固定螺母。
3.如權利要求2所述的晶體倒邊機的倒筒,其特征在于,所述的固定通孔沿周向均勻布置在相應的安裝法蘭上。
4.如權利要求1、2或3所述的晶體倒邊機的倒筒,其特征在于,所述的夾持平臺上還分別設置有定位凸臺。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





