[實用新型]一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置

有效

• 申請號: 201420567924.5
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN204108799U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 戚林
• 申請（專利權）人: 江蘇中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B08B3/02
• 代理公司: 無錫中瑞知識產權代理有限公司 32259
• 代理人: 張玉平

技術領域

本實用新型涉及到一種清洗裝置機，尤其涉及到一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置。

背景技術

在半導體行業中，通常要對晶片進行拋光處理。目前，在對晶片進行拋光處理之后，需要移送到專用的清洗設備進行清洗。事實證明，由于晶片在拋光過程中，其表面會附著很多細小顆粒，這些細小顆粒在從拋光機轉送到清洗機的過程中會發生氧化反應，使得晶體表面的質量大大降低，從而影響到晶片最終的成品率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種噴淋管可以擺動和伸縮的可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案為：一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置，包括：安裝座以及沿垂直方向布置的進水管和沿水平方向布置的噴淋管，噴淋管的頂壁上穿設有若干個等間距布置的噴淋頭，進水管活動穿設在安裝座中，進水管的頂端通過彎管接頭與噴淋管的一端相連，噴淋管的另一端的端口中設置有堵頭，所述的彎管接頭與噴淋管之間的連接方式為：所述的噴淋管上沿周向對稱設置有一對水平布置的定位座，定位座在靠近彎管接頭一側設置有與噴淋管相平行的定位桿，定位桿上設置有鎖緊螺紋，所述的彎管接頭在靠近噴淋管的一端設置有與鎖定桿相配合的定位法蘭，定位法蘭的內壁上開設有環形密封槽，環形密封槽中設置有密封圈，噴淋管穿設在定位法蘭和彎管接頭中，定位法蘭上還設置有與定位桿相配合的定位通孔，定位桿穿設在相應的定位通孔中，并在定位法蘭的兩側分別設置有定位螺母；所述的安裝座包括：水平布置的安裝板以及設置在安裝板底面上的至少一塊垂直方向布置的立板，其中的一塊立板上設置有減速電機，減速電機的輸出軸上設置有主動齒輪，所述的進水管活動穿設在安裝板中，進水管上設置有與主動齒輪相配合的從動齒輪。

作為一種優選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置中，所述的噴淋頭通過噴淋閥設置在噴淋管上。

作為一種優選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置中，所述的噴淋閥采用電磁閥。

作為一種優選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置中，所述的進水管與安裝板的安裝結構包括：穿設在安裝板中的軸承座，所述的軸承座中自下而上依次設置有與進水管過盈配合的軸承、以及與進水管間隙配合的隔套，隔套與進水管和軸承座之間分別設置有密封圈。

作為一種優選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置中，所述的立板至少有四塊，所有的立板與安裝板圍成向下開口的箱體。

本實用新型的有益效果是：由于本實用新型中的噴淋管可以在彎管接頭中伸縮，從而可以根據拋光時晶片所在的位置來調整噴淋頭，由于所述的一對定位座沿水平方向布置，即該對定位座位于噴淋管的前、后側，這樣在調節定位桿時就不會碰到彎管接頭，從而大大提高了調節范圍；此外，由于噴淋管還可以繞著進水管轉動，這樣就可以對眾多晶片進行掃描式清洗，大大提高了清洗的效果；此外，由于還設置了噴淋閥，使用時可以將不用的噴淋頭關掉，以達到節約用水的目的，降低使用成本；另外，由于安裝板與所有的立板圍成向下開口的箱體，從而很好地保護了置于該箱體中的零部件，使其免于淋水。

附圖說明

圖1是本實用新型所述清洗裝置的局部剖視結構示意圖之一。

圖2是本實用新型所述清洗裝置的局部剖視結構示意圖之二。

圖1至圖2中的附圖標記：1、堵頭，2、彎管接頭，21、定位法蘭，3、噴淋管，31、定位座，32、定位桿，321、鎖緊螺紋，33、定位螺母，4、噴淋頭，5、噴淋閥，6、進水管，7、隔套，8、軸承座，9、安裝板，91、立板，93、角座，10、減速電機，11、主動齒輪，12、從動齒輪，13、軸承，16、第一緩沖墊，17、第二緩沖墊。

具體實施方式

下面結合附圖，詳細描述本實用新型所述的一種用于晶片拋光機的清洗裝置的具體實施方案：