[實用新型]一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420567924.5
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN204108799U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設計）人: 戚林
• 申請（專利權）人: 江蘇中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B08B3/02
• 代理公司: 無錫中瑞知識產權代理有限公司 32259
• 代理人: 張玉平

1.一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置，包括：安裝座以及沿垂直方向布置的進水管和沿水平方向布置的噴淋管，噴淋管的頂壁上穿設有若干個等間距布置的噴淋頭，進水管活動穿設在安裝座中，進水管的頂端通過彎管接頭與噴淋管的一端相連，噴淋管的另一端的端口中設置有堵頭，其特征在于，所述的彎管接頭與噴淋管之間的連接方式為：所述的噴淋管上沿周向對稱設置有一對水平布置的定位座，定位座在靠近彎管接頭一側設置有與噴淋管相平行的定位桿，定位桿上設置有鎖緊螺紋，所述的彎管接頭在靠近噴淋管的一端設置有與鎖定桿相配合的定位法蘭，定位法蘭的內壁上開設有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中設置有密封圈，噴淋管穿設在定位法蘭和彎管接頭中，定位法蘭上還設置有與定位桿相配合的定位通孔，定位桿穿設在相應的定位通孔中，并在定位法蘭的兩側分別設置有定位螺母；所述的安裝座包括：水平布置的安裝板以及設置在安裝板底面上的至少一塊垂直方向布置的立板，其中的一塊立板上設置有減速電機，減速電機的輸出軸上設置有主動齒輪，所述的進水管活動穿設在安裝板中，進水管上設置有與主動齒輪相配合的從動齒輪。

2.根據權利要求1所述的一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置，其特征在于，所述的噴淋頭通過噴淋閥設置在噴淋管上。

3.根據權利要求2所述的一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置，其特征在于，所述的噴淋閥采用電磁閥。

4.根據權利要求1所述的一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置，其特征在于，所述的進水管與安裝板的安裝結構包括：穿設在安裝板中的軸承座，所述的軸承座中自下而上依次設置有與進水管過盈配合的軸承、以及與進水管間隙配合的隔套，隔套與進水管和軸承座之間分別設置有密封圈。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的一種可加裝在晶片拋光機上的清洗裝置，其特征在于，所述的立板至少有四塊，所有的立板與安裝板圍成向下開口的箱體。