[實(shí)用新型]一種MEMS麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420567892.9
• 申請(qǐng)日: 2014-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN204131730U
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬景明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東共達(dá)電聲股份有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 北京恒都律師事務(wù)所 11395
• 代理人: 李向東

1.一種MEMS麥克風(fēng)，包括各自固定在接線板上的具有內(nèi)凹腔的MEMS芯片與ASIC芯片，所述MEMS芯片的內(nèi)凹腔與接線板相對(duì)，所述MEMS芯片與ASIC芯片之間通過金屬導(dǎo)線連接，以及呈罩狀的將MEMS芯片與ASIC芯片共同罩住的外殼，所述外殼邊緣與接線板封裝，其特征在于，所述MEMS芯片底邊通過固定膠與所述接線板粘接固定，所述固定膠固定MEMS芯片底部的任一單邊，或固定MEMS芯片底邊的幾個(gè)點(diǎn)，所述固定膠具有一定厚度使MEMS芯片底邊與接線板之間產(chǎn)生間隙，所述間隙使MEMS芯片的內(nèi)凹腔同外殼與接線板封裝形成的腔體導(dǎo)通形成背腔；所述外殼內(nèi)壁設(shè)置具有內(nèi)空間的密封件，所述密封件與外殼內(nèi)壁密封形成與背腔相隔開的前腔，所述前腔通過外殼上設(shè)置的音孔與外界聯(lián)通。

2.如權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述接線板固定MEMS芯片的位置設(shè)置向內(nèi)凹陷的凹槽，所述MEMS芯片的內(nèi)凹腔與接線板上的凹槽相對(duì)，所述凹槽具有至少大于所述MEMS芯片底邊輪廓的邊緣，所述凹槽連同MEMS芯片與接線板之間的間隙將MEMS芯片的內(nèi)凹腔與外殼和接線板之間形成的腔體導(dǎo)通形成背腔。

3.如權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述密封件在外殼內(nèi)壁與MEMS芯片上表面之間延伸形成與背腔隔開的前腔，所述前腔位置的外殼上設(shè)置讓前腔與外界聯(lián)通的音孔。

4.如權(quán)利要求3所述的一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述密封件為中空的連接管，所述密封件上端與外殼內(nèi)壁密封，所述密封件下端與MEMS芯片的上表面密封。

5.如權(quán)利要求4所述的一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述密封件的截面形狀呈多邊形或圓形。

6.如權(quán)利要求4所述的一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述密封件的管壁呈直線、曲線或折線狀。

7.如權(quán)利要求3-6之一所述的一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述密封件與所述MEMS芯片為一體式結(jié)構(gòu)。