[實(shí)用新型]大面積透明導(dǎo)電膜玻璃的制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420565428.6
• 申請日: 2014-09-28
• 公開（公告）號: CN204281593U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王蕓;金良茂;甘治平;王東;倪嘉;單傳麗;石麗芬;王萍萍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國建材國際工程集團(tuán)有限公司;蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院;蚌埠硅基材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號: C03C17/23
• 分類號: C03C17/23
• 代理公司: 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31251
• 代理人: 王法男

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種大面積制備透明導(dǎo)電膜玻璃的裝置，尤其涉及利用液相輥涂法，在移動的玻璃表面涂覆氧化錫摻雜透明導(dǎo)電氧化物薄膜，該薄膜主要應(yīng)用于薄膜太陽能電池及低輻射節(jié)能玻璃等領(lǐng)域。

背景技術(shù)

隨著能源危機(jī)及傳統(tǒng)能源對環(huán)境污染的日趨嚴(yán)重，開發(fā)可再生潔凈能源成為國際范圍內(nèi)的重大戰(zhàn)略課題之一，太陽能是取之不盡、用之不竭的潔凈能源，因此，研究與開發(fā)利用太陽能成為世界各國政府可持續(xù)發(fā)展的能源戰(zhàn)略決策。其中，非晶硅(a-Si:H)薄膜太陽能電池以其低成本、易大面積實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)，在薄膜太陽能電池中占據(jù)首要位置，而FTO透明導(dǎo)電膜具有高透過率、高電導(dǎo)率以及自身絨面結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，使其在a-Si:H薄膜太陽能電池中得到廣泛應(yīng)用。

第CN1962510號中國專利闡述一種利用噴霧熱解法制備氧化錫透明導(dǎo)電膜的裝置。該裝置利用SnCl₂·2H₂O和NH₄F得到了電阻20Ω/□的氧化錫薄膜，但該裝置成膜速度太低，需經(jīng)過多次反復(fù)噴涂才能得到滿足要求的透明導(dǎo)電膜；中國專利CN101140143闡述了超聲噴霧法制備大面積透明導(dǎo)電膜的裝置及裝備。該裝置通過超聲噴霧法，在靜止的熱玻璃表面上沉積了氧化錫摻雜氟透明導(dǎo)電膜，膜層電導(dǎo)率及透過率較高，但該裝置未涉及中間屏蔽層的制備，同時，該裝置得到的樣品膜層不夠均勻且尺寸較小，不宜進(jìn)行工業(yè)化生產(chǎn)。第CN101188149號中國專利闡述了一種利用射頻磁控濺射法在玻璃表面共沉積Ce摻雜的AZO透明導(dǎo)電膜的裝置，得到了電阻率為7～8×10-4Ω·cm，在400～800nm可見光范圍內(nèi)平均透過率達(dá)到80～90％的透明導(dǎo)電膜，但該裝置得到的透明導(dǎo)電膜本身不具有絨面結(jié)構(gòu)，需經(jīng)過絨面處理后才能應(yīng)用于太陽能電池電極；第CN1145882號中國專利闡述了一種通過化學(xué)氣相沉積的方式在移動的630～640℃的平板玻璃或浮法玻璃基體上，利用四氯化錫和水預(yù)混合形成單一的氣流，沉積氧化錫膜層的裝置。該裝置涉及的反應(yīng)物質(zhì)要求在高溫下瞬間分解反應(yīng)，不易控制，工藝復(fù)雜。

本實(shí)用新型專利將克服上述裝置存在的缺陷，實(shí)現(xiàn)簡單、低成本、大面積均勻制備透明導(dǎo)電膜玻璃。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在提供一種大面積透明導(dǎo)電膜玻璃的制備裝置。

為了達(dá)成上述目的，提供了一種大面積透明導(dǎo)電膜玻璃的制備裝置，涂覆單元，其在玻璃基板上涂覆液體前驅(qū)物，以在所述玻璃基板的表面形成氧化錫摻雜透明導(dǎo)電氧化物薄膜；以及熱處理單元，其對所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板進(jìn)行熱處理，以形成透明導(dǎo)電膜玻璃。所述涂覆單元利用液相輥涂法在所述玻璃基板上涂覆所述液體前驅(qū)物。一些實(shí)施例中，所述氧化錫摻雜透明導(dǎo)電氧化物薄膜可摻雜有氟或銻。

一些實(shí)施例中，所述氧化錫摻氟透明導(dǎo)電膜的厚度至少360nm。

一些實(shí)施例中所述玻璃基板和所述氧化錫薄膜之間沉積有中間層。

一些實(shí)施例中所述中間層的主要成分為二氧化硅。

一些實(shí)施例中所述中間層的厚度為30～150nm。

一些實(shí)施例中所述熱處理溫度為400～700℃，并且所述熱處理的時間不少于3分鐘。

一些實(shí)施例中所述液體前驅(qū)物包括R_nSnCl_4-n，其中R為直鏈或支鏈或環(huán)烷基，n＝0,1或2；錫源R_nSnCl_4-n常用的如四氯化錫等無機(jī)錫或單丁基三氯化錫等有機(jī)錫。

一些實(shí)施例中所述液體前驅(qū)物包括R_uO_vSi_m，其中R為直鏈或支鏈或環(huán)烷基，u＝3-8,v＝0-4,m＝1-4，包括如正硅酸乙酯(TEOS)或正硅酸甲酯(TMOS)。

一些實(shí)施例中所述液體前驅(qū)物包括三氟乙酸，氫氟酸，三氟化磷，氟化銨；三氯化銻，五氯化銻；并且所述液體前驅(qū)液中的溶劑是水，醇類，或其混合物。

本實(shí)用新型通過改變前驅(qū)物混合液的配方，可以控制膜層的質(zhì)量，改善膜層的功能。本實(shí)用新型工藝簡單，設(shè)備及原料成本低，易于操作，便于工業(yè)化大批量生產(chǎn)。本實(shí)用新型采用合適的液體前驅(qū)物在移動的玻璃表面鍍制了氧化錫摻雜透明導(dǎo)電氧化物薄膜，得到的透明導(dǎo)電膜具有高透過率、高電導(dǎo)率以及自身絨面結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，在薄膜太陽能電池及低輻射節(jié)能玻璃中應(yīng)用極廣。

以下結(jié)合附圖，通過示例說明本實(shí)用新型主旨的描述，以清楚本實(shí)用新型的其他方面和優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

結(jié)合附圖，通過下文的詳細(xì)說明，可更清楚地理解本實(shí)用新型的上述及其他特征和優(yōu)點(diǎn)，其中：