[實用新型]大面積透明導電膜玻璃的制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420565428.6
• 申請日: 2014-09-28
• 公開（公告）號: CN204281593U
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設計）人: 王蕓;金良茂;甘治平;王東;倪嘉;單傳麗;石麗芬;王萍萍
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司;蚌埠玻璃工業(yè)設計研究院;蚌埠硅基材料產(chǎn)業(yè)技術研究院有限公司
• 主分類號: C03C17/23
• 分類號: C03C17/23
• 代理公司: 上海碩力知識產(chǎn)權代理事務所 31251
• 代理人: 王法男

1.一種大面積透明導電膜玻璃的制備裝置，其特征在于，包括如下步驟：

涂覆單元，其在玻璃基板上涂覆液體前驅物，以在所述玻璃基板的表面形成氧化錫摻雜透明導電氧化物薄膜；以及

熱處理單元，其對所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板進行熱處理，以形成透明導電膜玻璃，

其中，所述涂覆單元利用液相輥涂法在所述玻璃基板上涂覆所述液體前驅物。

2.根據(jù)權利要求1所述的制備裝置，其特征在于同時，所述氧化錫摻氟透明導電膜的厚度至少360nm。

3.根據(jù)權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述玻璃基板和所述氧化錫薄膜之間沉積有中間層。

4.根據(jù)權利要求3所述的制備裝置，其特征在于，所述中間層的主要成分為二氧化硅。

5.根據(jù)權利要求4所述的制備裝置，其特征在于，所述中間層的厚度為30～150nm。

6.根據(jù)權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述熱處理溫度為400～700℃，并且所述熱處理的時間不少于3分鐘。

7.根據(jù)權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述液體前驅物包括三氟乙酸，氫氟酸，三氟化磷，氟化銨；三氯化銻，五氯化銻；并且所述液體前驅液中的溶劑是水，醇類，或其混合物。